[发明专利]用于测量沉积速率的测量组件及其方法在审
| 申请号： | 201880099397.0 | 申请日： | 2018-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN112996948A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 约瑟夫·文森特 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24;G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了一种用于测量真空沉积腔室中沉积材料的沉积速率的测量组件。所述测量组件包括提供沉积表面和参考表面的一个或多个透明基板，所述沉积表面经构造以在真空沉积装置的真空腔室中接收沉积材料的至少一部分；以及光学测量组件。所述光学测量组件包括电磁辐射的源；第一检测器，所述第一检测器用于所述电磁辐射的第一部分并提供沉积速率信号；以及第二检测器，所述第二检测器用于所述电磁辐射的第二部分并提供参考信号。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 沉积 速率 组件 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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