[发明专利]扫描探针显微镜以及扫描探针显微镜的控制装置在审
| 申请号： | 201880095528.8 | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN112470010A | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 渡边一马;藤野敬太;平出雅人;山崎贤治;中岛秀郎;池田雄一郎;新井浩 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01Q20/02 | 分类号： | G01Q20/02;G01Q30/04 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 悬臂(2)的顶端部具有探针(7)。光学系统(80)向悬臂(2)照射激光，检测被悬臂(2)反射的激光。测量部(14)基于根据由光学系统(80)检测到的激光的位置的变化而获得的悬臂(2)的位移，来测量试样(9)的特性。激光调整部(20)在调整激光的光轴时使激光的光斑直径大于测量试样(8)的特性时的光斑直径。摄影部(10)在调整激光的光轴时拍摄包括探针(7)的位置的范围。显示部(12)显示所拍摄到的图像。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 探针 显微镜 以及 控制 装置 | ||
【主权项】：
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