[发明专利]工件的双面抛光装置及双面抛光方法有效
| 申请号： | 201880083817.6 | 申请日： | 2018-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN111587164B | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 久保田真美;高梨启一 | 申请（专利权）人： | 胜高股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B37/013;B24B37/08;B24B49/04;H01L21/304;B24B49/12 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张泽洲;司昆明 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种在双面抛光中，能够在工件形状成为目标形状的时机结束双面抛光的双面抛光装置及双面抛光方法。双面抛光装置（1）中的运算部（13）进行如下工序来决定结束双面抛光的时机：第1工序，按每一个工件对由工件厚度测量器（11）测量的工件厚度数据进行分类；第2工序，按每一个工件从工件厚度数据中提取工件形状成分；第3工序，对提取出的各工件形状成分，确定测量出的工件上的工件径向位置；第4工序，根据所确定的工件上的工件径向位置及工件形状成分，计算工件形状分布；第5工序，根据计算出的工件形状分布，求出工件的形状指标；以及第6工序，基于所求出的每一个工件的形状指标，决定结束工件的双面抛光的时机。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 双面 抛光 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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