[发明专利]真空泵及其使用的固定零件、排气端口、控制机构有效
| 申请号： | 201880080600.X | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN111448394B | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 山本一志;野中学;坂口祐幸;桦泽刚志 | 申请（专利权）人： | 埃地沃兹日本有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张泽洲;陈浩然 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供适合将堆积于真空泵内的流路的产物除去的真空泵、及其使用的固定零件、排气端口、控制机构。真空泵（P1）具备从吸气口（2）向排气口（3）转移的气体的流路（R）、将堆积于流路（R）的内壁面的产物除去的除去机构（RM），除去机构（RM）具备在流路（R）的内壁面一端开口的喷射孔（91、92、93），且为从该喷射孔（91、92、93）向前述流路（R）内喷射除去气体的构造。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 及其 使用 固定 零件 排气 端口 控制 机构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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