[发明专利]真空泵及其使用的固定零件、排气端口、控制机构

权利要求书

1.一种真空泵，其特征在于，

具备旋转体、支承机构、驱动机构、吸气口、排气口、气体的流路、除去机构，

前述旋转体配置于外装壳内，

前述支承机构将前述旋转体能够旋转地支承，

前述驱动机构将前述旋转体旋转驱动，

前述吸气口用于通过前述旋转体的旋转将气体吸入，

前述排气口用于将从前述吸气口吸入的前述气体排出，

前述气体的流路从前述吸气口向前述排气口转移，

前述除去机构将堆积于前述流路的内壁面的产物除去，

前述除去机构具备在前述流路的内壁面一端开口的多个喷射孔，且呈从该多个喷射孔向前述流路内喷射除去气体的构造，

具备控制机构，前述控制机构作为控制前述除去气体的压力、流量、或喷射时间的某个的机构发挥功能，

前述除去气体的压力的控制是将被从前述多个喷射孔喷射的前述除去气体相对于该多个喷射孔突出地供给的形式的控制，

前述多个喷射孔的另一端向沿周向形成的除去气体供给路开口，

前述除去气体供给路在前述周向上连通。

2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

在相对于前述多个喷射孔供给前述除去气体的气体供给系统的途中，设置有感测该气体供给系统的供给状况的感测机构。

3.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

前述控制机构作为基于前述感测机构的感测结果来输出调整相对于前述多个喷射孔的前述除去气体的供给流量所必要的信号的机构发挥功能。

4.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

前述控制机构作为以下机构发挥功能：基于前述感测机构的感测结果进行推定产物的堆积量的处理，及其推定的产物的堆积量超过阈值的情况下，输出调整相对于前述多个喷射孔的前述除去气体的供给压力或供给流量所必要的信号，或输出鸣响警报所必要的信号。

5.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

前述控制机构作为基于来自外部装置的指令执行相对于前述多个喷射孔的前述除去气体的供给的机构发挥功能。

6.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

前述喷射时间的控制包括从前述多个喷射孔一直喷射前述除去气体的形式的控制、及从前述多个喷射孔间歇地喷射前述除去气体的形式的控制中的至少某一方的形式的控制。

7.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

前述流量的控制包括将被从前述多个喷射孔喷射的前述除去气体的流量保持恒定的形式的控制、及将该流量增减的形式的控制中的至少某一方的形式的控制。

8.如权利要求1至7中任一项所述的真空泵，其特征在于，

前述除去气体为非活性气体。

9.如权利要求1至7中任一项所述的真空泵，其特征在于，

前述除去气体是被激发机构活性化的高能量气体。

10.如权利要求1至7中任一项所述的真空泵，其特征在于，

前述除去气体是被加热机构加热的高温气体。

11.如权利要求1至7中任一项所述的真空泵，其特征在于，

将前述流路的内壁面用多孔质材料形成，

将前述多孔质材料的多孔用作前述多个喷射孔。

12.如权利要求11所述的真空泵，其特征在于，

将构成前述流路的内壁面的前述多孔质材料的表面的一部分遮挡，该一部分以外构成为无遮挡的非遮挡部，由此，在前述非遮挡部的范围内，能够从前述多孔质材料的多孔向前述流路内喷射除去气体。