[发明专利]真空泵及其使用的固定零件、排气端口、控制机构

说明书

本发明提供适合将堆积于真空泵内的流路的产物除去的真空泵、及其使用的固定零件、排气端口、控制机构。真空泵（P1）具备从吸气口（2）向排气口（3）转移的气体的流路（R）、将堆积于流路（R）的内壁面的产物除去的除去机构（RM），除去机构（RM）具备在流路（R）的内壁面一端开口的喷射孔（91、92、93），且为从该喷射孔（91、92、93）向前述流路（R）内喷射除去气体的构造。

技术领域

本发明涉及作为半导体制造处理装置、平板显示器制造装置、太阳能面板制造装置的处理腔、其他真空腔的气体排气机构被利用的真空泵、及其使用的固定零件、排气端口、控制机构，特别为适合将堆积于泵内的流路的产物除去的。

背景技术

有时在半导体制造处理装置中在其处理的过程中作为反应副产物生成TiF₄、AlCl₃等升华性气体。若这样的升华性气体被真空泵抽吸而在真空泵内的流路流动，则蒸气压曲线所示的流路内的气体的压力(分压)与温度的关系在从气相转移成固相的部位，该升华性气体固体化而堆积于流路的内壁面。特别地，该流路的下游附近那样压力相对变高的部位处，发生显著的堆积。

作为将如前所述地堆积的产物除去的对策，以往借助带式加热器等加热・保温机构将真空泵加热・保温(例如，参照专利文献1或专利文献2)。

然而，根据如前所述地将真空泵加热・保温的以往的方式，旋转体等真空泵内的构造零件也被同时加热・保温。特别是真空泵的旋转体以高速旋转，所以由于加热・保温而超过构成旋转体的材料的设计允许温度的状态下，若该旋转体继续旋转，则会发生由于旋转体的材料强度下降引起的破损、由于旋转体的蠕变形变引起的变形、变形的旋转体与位于其外周的固定零件的接触、由于接触引起的旋转体、固定零件的破损这样的问题。由此，不能说将真空泵加热・保温的以往的方式适合将堆积于真空泵内的流路的产物除去。

此外，也有通过加热・保温难以除去堆积的产物的气体、例如升华温度高的气体在真空泵内的流路流动的情况。该情况下，在形成于真空泵内的旋转体与位于其外周的固定零件之间的气体的流路，产物继续堆积，由此，旋转体与固定零件经由堆积的产物接触，也产生旋转体或固定零件破损这样的问题。

专利文献1：日本特开2015-31153号公报。

专利文献2：日本特开2015-148151号公报。

发明内容

本发明是为了解决前述问题而作出的，其目的为，提供适合将堆积于真空泵内的流路的产物除去的真空泵、及其使用的固定零件、排气端口、控制机构。

为了实现前述目的，本发明是一种真空泵，其特征在于，具备旋转体、支承机构、驱动机构、吸气口、排气口、气体的流路、除去机构，前述旋转体配置于外装壳内，前述支承机构将前述旋转体能够旋转地支承，前述驱动机构将前述旋转体旋转驱动，前述吸气口用于通过前述旋转体的旋转将气体吸入，前述排气口用于将从前述吸气口吸入的前述气体排出，前述气体的流路从前述吸气口向前述排气口转移，前述除去机构将堆积于前述流路的内壁面的产物除去，前述除去机构为以下构造：在前述流路的内壁面具备一端开口的喷射孔，且从该喷射孔向前述流路内喷射除去气体。

在前述本发明中，也可以是，其特征在于，具备控制机构，前述控制机构作为控制前述除去气体的压力、流量、或喷射时间的某个的机构发挥功能。

在前述本发明中，也可以是，其特征在于，在相对于前述喷射孔供给前述除去气体的气体供给系统的途中，设置有感测该气体供给系统的供给状况的感测机构。

在前述本发明中，也可以是，其特征在于，前述控制机构作为基于前述感测机构的感测结果来输出调整相对于前述喷射孔的前述除去气体的供给压力或供给流量所必要的信号的机构发挥功能。