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- [发明专利]真空泵-CN202180075707.7在审
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中辻重义;坂口祐幸
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埃地沃兹日本有限公司
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2021-12-03
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2023-07-18
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F04D19/04
- 本发明提供能够有效抑制热膨胀导致的性能下降的真空泵。前述真空泵具备外装体(203)、旋转体(103)、螺纹槽定子(131)、螺纹槽(131a)，前述外装体(203)设置有吸气口(101)，前述旋转体(103)内包于外装体(203)，被旋转自如地支承，前述螺纹槽定子(131)配置于旋转体(103)的外周，呈大致圆筒状，前述螺纹槽(131a)刻设于旋转体(103)的外周面或螺纹槽定子(131)的内周面的至少一者，通过使旋转体(103)旋转，将从吸气口(101)侧抽吸的气体向外装体(203)外排出，在螺纹槽定子(131)的外周配设限制机构(220)，前述限制机构(220)由线膨胀系数比螺纹槽定子(131)的材料低的材料形成，使螺纹槽定子(131)的热膨胀时的径向的变形减少。
- 真空泵
- [发明专利]真空泵-CN202180053111.7在审
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三轮田透;高井庆行;坂口祐幸
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埃地沃兹日本有限公司
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2021-09-03
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2023-04-25
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F04D19/04
- 本发明提供一种真空泵，前述真空泵能够减少朝向用于隔热而设置的间隙的气体的流动(气体分子的数量)，减少在间隙堆积的副产物的量，延长需要维护的间隔来提高生产率。前述真空泵具有外筒(127)、转子轴(113)、多层的旋转翼(102)、多层的固定翼(123)、冷却侧定子(110A)及加热侧定子(110B)，前述外筒(127)具有吸气口(101)和排气口(133)，前述转子轴(113)旋转自如地支承于外筒(127)的内侧，前述多层的旋转翼(102)能够与转子轴(113)一同旋转，前述多层的固定翼(123)相对于外筒固定，且配置于多层的旋转翼(102)之间，前述冷却侧定子(110A)及加热侧定子(110B)将多层的固定翼(123)以既定间隔保持，在旋转体(103)的轴向上不与旋转翼(102)的外周面相向的位置，设置有将冷却侧定子(110A)和加热侧定子(110B)之间隔热的既定宽度的间隙(114)的开口部(114A)。
- 真空泵
- [发明专利]真空泵及其冷却部件-CN201880093455.9有效
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三轮田透;高井庆行;坂口祐幸
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埃地沃兹日本有限公司
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2018-05-30
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2022-11-11
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F04D19/04
- 为了提供一种能够与设置真空泵的现场的冷却配管布局对应而进行相对于冷却部件的冷却配管的连接作业、使用方便性良好的真空泵以及冷却部件，冷却部件（8）具备：多个端口对（81），由第一以及第二端口（81A、81B）构成；冷却介质的流路（82），与多个端口对的各端口连通；设定机构（83），设定多个端口对的使用形态，多个端口对沿外装框体的周向方向设置，设定机构为，在多个端口对之中，关于被选择的一个端口对，设定为能够使用其第一端口从外部向流路内进行冷却介质的供给、能够使用其第二端口从流路内向外部进行冷却介质的排出，并且，关于在此之外的端口对，设定为不能使用其第一端口从外部向流路内进行冷却介质的供给、不能使用其第二端口从流路内向外部进行冷却介质的排出。
- 真空泵及其冷却部件
- [发明专利]真空泵-CN201980019833.3有效
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三轮田透;高井庆行;坂口祐幸
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埃地沃兹日本有限公司
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2019-03-20
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2022-07-26
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F04D19/04
- 提供能够使泵正常运转的同时抑制气体的固化的真空泵。在具有从外部吸入气体的吸气口（11b）和将被吸入的气体向外部排出的排气口（11a）的壳（11）内，设置有涡轮分子泵机构（PA）、螺纹槽泵机构（PB）、第1温度调整机构（39）、第2温度调整机构（40），前述涡轮分子泵机构（PA）具有被沿轴向交替地多级排列的旋转翼（23）及固定翼（31），前述螺纹槽泵机构（PB）被与涡轮分子泵机构（PA）的排气口（18a）侧连续设置，前述第1温度调整机构（39）将涡轮分子泵机构（PA）的温度冷却调整，前述第2温度调整机构（40）将涡轮分子泵机构（PA）加热调整。
- 真空泵
- [发明专利]真空泵-CN202080049166.6在审
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武田俊介;坂口祐幸
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埃地沃兹日本有限公司
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2020-07-10
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2022-02-08
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F04D19/04
- 提供一种即便减小转子圆筒部的半径方向的直径，也保持定子柱的固定部的强度，维持排气流路的导通而不会令排气性能降低的真空泵。本发明的实施方式的真空泵中，具备作为连结西格本泵部和螺纹槽泵部的构造的连结型螺纹槽衬垫，作为该连结型螺纹槽衬垫的排气流路部的螺纹槽的出口位置为定子柱的固定部（固定螺栓）附近时，排气流路的导通降低。因此，令连结型螺纹槽衬垫的螺纹峰与定子柱的固定部的设置位置的周方向的相位尽可能对齐。换言之，将作为排气流路的连结型螺纹槽衬垫的螺纹槽设置在定子柱的固定部的设置位置的周方向之间，抑制排气流路的导通的降低。
- 真空泵
- [发明专利]真空泵及真空泵构成零件-CN202080036425.1在审
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小川洋平;坂口祐幸;吉原菜穗子
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埃地沃兹日本有限公司
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2020-05-22
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2021-12-24
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F04D19/04
- 课题是提供一种不易发生由螺栓的紧固带来的间隙的真空泵。具备：主体壳体（14），具有吸气口（12a）或排气口（25）；旋转自如的转子轴杆（21）；以及转子（28），与转子轴杆（21）结合；在转子（28），形成有朝向吸气口（12a）开口的凹部（41）；转子轴杆（21）的紧固部（第1轴部（51）和第2轴部（52））在凹部（41）露出；具有借助罩部固定螺栓（86）而与紧固部紧固并将凹部（41）的至少一部分覆盖的罩部（71）；罩部（71）被形成为容器状，具有：接纳部（77），位于紧固部的周围，提高刚性而防止挠曲；以及插入部（72），借助向紧固部的紧固而在紧固方向上被推压，能够在紧固方向上产生接触压。
- 真空泵构成零件
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