[发明专利]弹性波装置、高频前端电路及通信装置有效
申请号: | 201880077562.2 | 申请日: | 2018-12-10 |
公开(公告)号: | CN111418152B | 公开(公告)日: | 2023-09-15 |
发明(设计)人: | 岸勇藏;岸本谕卓;泽村诚;甲斐诚二 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H03H9/25 | 分类号: | H03H9/25;H03H9/145 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 韩聪 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供压电体层不容易破损,并且滤波器特性不容易恶化的弹性波装置。弹性波装置(1)具备:硅支承基板(2),具有相互对置的第一、第二主面(2a、2b);压电性构造体(12),设置在第一主面(2a)上,并具有压电体层(6);IDT电极(7),设置在压电体层(6)上;支承层(3),在硅支承基板(2)的第一主面(2a)上设置为包围压电体层(6);覆盖层(4),设置在支承层(3)上;通孔电极(11),设置为贯通硅支承基板(2)和压电性构造体(12);第一布线电极(8),连接于通孔电极(11),并电连接于IDT电极(7)。压电性构造体(12)具有包括压电体层(6)的至少1层具有绝缘性的层。第一布线电极(8)设置在压电性构造体(12)中的具有绝缘性的层上。 | ||
搜索关键词: | 弹性 装置 高频 前端 电路 通信 | ||
【主权项】:
暂无信息
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