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[发明专利]弹性波装置、高频前端电路及通信装置-CN201880081634.0有效
发明人：泽村诚;甲斐诚二;岸本谕卓;岸勇藏 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2018-12-10 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：提供一种难以产生因带电引起的静电破坏的弹性波装置。在弹性波装置(1)中，在硅支承基板(2)上直接或间接地层叠有压电体(6)，在压电体(6)上设置有功能电极，在硅支承基板(2)上直接或间接地设置有支承层(3)，在俯视观察的情况下，支承层(3)设置于功能电极的外侧，在由绝缘物构成的支承层(3)上设置有硅盖层(4)，形成有由硅支承基板2、支承层(3)以及硅盖层(4)包围的空间(A)，硅支承基板(2)的电阻比硅盖层(4)的电阻高。
弹性装置高频前端电路通信

[发明专利]弹性波装置、高频前端电路及通信装置-CN201880077562.2有效
发明人：岸勇藏;岸本谕卓;泽村诚;甲斐诚二 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2018-12-10 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：提供压电体层不容易破损，并且滤波器特性不容易恶化的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：硅支承基板(2)，具有相互对置的第一、第二主面(2a、2b)；压电性构造体(12)，设置在第一主面(2a)上，并具有压电体层(6)；IDT电极(7)，设置在压电体层(6)上；支承层(3)，在硅支承基板(2)的第一主面(2a)上设置为包围压电体层(6)；覆盖层(4)，设置在支承层(3)上；通孔电极(11)，设置为贯通硅支承基板(2)和压电性构造体(12)；第一布线电极(8)，连接于通孔电极(11)，并电连接于IDT电极(7)。压电性构造体(12)具有包括压电体层(6)的至少1层具有绝缘性的层。第一布线电极(8)设置在压电性构造体(12)中的具有绝缘性的层上。
弹性装置高频前端电路通信

[发明专利]声波器件-CN202180072183.6在审
发明人： 甲斐诚二;罗伯特·B·哈蒙德;文西斯拉夫·扬切夫;帕特里克·特纳 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2021-10-22 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：一种声波器件包括压电层和串联臂谐振器和并联臂谐振器，该压电层包括铌酸锂或钽酸锂，串联臂谐振器和并联臂谐振器各自包括在所述压电层上的至少一对第一电极和第二电极。该声波器件使用处于第一厚度剪切模式的体波。串联臂谐振器中的压电层的第一部分的膜厚度不同于并联臂谐振器中的压电层的第二部分的膜厚度。在串联臂谐振器和并联臂谐振器中的每一个中，假设压电层的膜厚度为d并且彼此相邻的第一电极和第二电极的中心之间的距离为p，则比率d/p小于或等于约0.5。
声波器件

[发明专利]弹性波装置的制造方法、弹性波装置、高频前端电路以及通信装置-CN201780079662.4有效
发明人：泽村城;甲斐诚二 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2017-11-17 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： H03H3/08 文献下载
摘要：本发明提供一种不易产生压电基板的裂纹、碎片的弹性波装置的制造方法。一种弹性波装置的制造方法，具备：准备在多个弹性波装置构成部分(2A～2D)分别设置有IDT电极(3)的压电晶片(1)的工序；在压电晶片(1)的第一主面(1a)，在多个弹性波装置构成部分(2A～2D)分别设置多个支承层(7)的工序；接合覆盖构件，使得覆盖多个支承层(7)，得到层叠体的工序；将层叠体沿着第一方向(X)切断多次的工序；以及将层叠体沿着与第一方向(X)正交的第二方向(Y)切断，得到各个弹性波装置的工序，在压电晶片(1)的第一主面(1a)上，设置有树脂层(11)，使得跨过相邻的弹性波装置构成部分(2A～2D)间的边界，以存在该树脂层(11)的状态进行第二切断工序。
弹性装置制造方法高频前端电路以及通信

[发明专利]弹性波装置、高频前端电路以及通信装置和弹性波装置的制造方法-CN201880081223.1有效
发明人：岸本谕卓;甲斐诚二;泽村诚;岸勇藏 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2018-12-10 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：本发明提供一种能够更可靠地提高生产率的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电性基板(2)，具有支承基板(3)和直接或间接地设置在支承基板(3)上的压电体层(5)，且具有作为压电体层(5)侧的主面的第1主面(2a)和作为支承基板(3)侧的主面的第2主面(2b)；IDT电极(7)，直接或间接地设置在第1主面(2a)上；支承构件(8)，设置在支承基板(3)上；覆盖构件(9)，设置在支承构件(8)上；贯通过孔电极(17)，设置为贯通支承基板(3)，并与IDT电极(7)电连接；第1布线电极(15)，设置在压电性基板(2)的第2主面(2b)上，并与贯通过孔电极(17)电连接；以及保护膜(16)，设置在第2主面(2b)上，使得覆盖第1布线电极(15)的至少一部分。在从第2主面(2b)的法线方向观察时，保护膜(16)设置在比支承构件(8)靠内侧。
弹性装置高频前端电路以及通信制造方法

[发明专利]弹性波装置-CN201680027017.3有效
发明人：高井努;田中厚志;甲斐诚二 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2016-06-15 - 公布日： 2021-04-27 - 主分类号： H03H9/145 文献下载
摘要：本发明提供一种具有层叠有厚度薄的压电薄膜、低声速膜以及高声速部件的构造的弹性波装置，其中，特性的偏差少。弹性波装置(1)，在低声速膜(3)上设置有压电薄膜(4)，在压电薄膜(4)上设置有IDT电极(5)，压电薄膜(4)由压电单晶构成，并具有作为极化轴方向上的正的面的第一主面(4a)和作为极化轴方向上的负的面的第二主面(4b)，压电薄膜(4)的低声速膜(3)侧的主面为第一主面(4a)，IDT电极(5)侧的主面为第二主面(4b)。
弹性装置

[发明专利]弹性波装置-CN201680029063.7有效
发明人：福岛正宏;甲斐诚二;小柳卓哉 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2016-06-10 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：本发明提供一种难以产生压电薄膜的破裂、缺口且难以产生层叠膜中的界面剥离，进而强度高的弹性波装置。在支承基板(2)上层叠了层叠膜(13)的弹性波装置(1)。设置有第一支承层(8a)，使得包围设置有IDT电极(5a、5d)的区域。在被第一支承层(8a)包围的区域设置有第二支承层(8b)。在第一支承层(8a)、第二支承层(8b)上，固定有覆盖构件(9)，使得封闭由第一支承层(8a)形成的开口部。层叠膜(13)部分地不存在，在不存在层叠膜(13)的区域(R1)的至少一部分设置有绝缘层(12)。第一支承层(8a)以及第二支承层(8b)中的至少一方设置在绝缘层(12)上。
弹性装置

[发明专利]弹性波装置-CN201680027933.7有效
发明人： 甲斐诚二 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2016-06-10 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：提供一种在具有中空构造的弹性波装置中难以产生压电薄膜的裂纹或缺损、且难以产生层叠膜内的界面剥离、能够通过泄露检测容易挑选出不合格品的弹性波装置。弹性波装置(1)具备支承基板(2)、包含压电薄膜(4)的层叠膜(3)、和IDT电极(5)，在俯视下，在设置有IDT电极(5)的区域的外侧的区域，层叠膜(3)局部地不存在，还具备：支承层(8)，在支承基板(2)上，被设置在层叠膜(3)局部地不存在的区域(R)的至少一部分，并且被配置为在俯视下包含层叠膜(3)被设置的区域；盖部件(9)，被设置在支承层(8)上，与压电薄膜(4)以及支承层(8)一起构成IDT电极(5)所面对的中空空间(7)。
弹性装置

[发明专利]弹性波装置-CN201680031526.3有效
发明人：山本浩司;高井努;甲斐诚二;山崎央;三轮祐司;山根毅 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2016-06-10 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：本发明提供一种难以产生压电薄膜的破裂、缺口，且难以产生层叠膜中的界面剥离，进而难以产生布线电极的断线的弹性波装置。在支承基板(2)上层叠有包含压电薄膜(4)的层叠膜(3)的弹性波装置(1)。在设置有IDT电极(5a～5c)的区域的外侧的区域，部分地不存在层叠膜(3)。设置有第一绝缘层(12)，使得从不存在该层叠膜(3)的区域(R)的至少一部分到达压电薄膜(4)上。布线电极(6a)从压电薄膜(4)上到达第一绝缘层(12)上，并到达位于区域(R)的第一绝缘层部分上。
弹性装置

[发明专利]声表面波装置集合体-CN201680006223.6有效
发明人：竹下彻;甲斐诚二;中崇;津田基嗣;比良光善 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2016-02-01 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：声表面波装置集合体(1)具备：集合基板(2)；多个第1电路部(3A)，被设置于集合基板上，具有第1高压端子(6a)以及第1接地端子(7a)；第2电路部(4A)，被设置于集合基板上，具有第2高压端子(6b)以及第2接地端子(7b)；和供电布线(13)，被设置于集合基板上以使得包围多个第1电路部以及第2电路部的周围。各第1电路部构成作为带通型滤波器的声表面波装置(3)。第2电路部构成带通型滤波器。多个第1接地端子(7a)以及第1高压端子(6a)还有第2接地端子(7b)连接于供电布线(13)，第2高压端子(6b)未连接于供电布线(13)，各声表面波装置(3)的通频带与由第2电路部(4A)构成的带通型滤波器的通频带相同。
表面波装置集合体

[发明专利]弹性波装置及其制造方法-CN201580027543.5有效
发明人：菊知拓;甲斐诚二;津田基嗣;比良光善 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2015-06-24 - 公布日： 2019-09-27 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：本发明提供一种能够谋求更进一步的小型化的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电基板(2)；功能电极(3)，设置在压电基板(2)上；支承层(5)，具有框状的形状，设置在压电基板(2)上，并设置为包围功能电极(3)；以及覆盖构件(6)，设置在支承层(5)上，并设置为对支承层(5)的开口部进行密封，覆盖构件(6)具有作为支承层(5)侧的主面的第一主面(6A)和第一主面(6A)的相反侧的第二主面(6B)。在覆盖构件(6)形成有在第二主面(6B)开口的凹部(6c)。形成有过孔(7)，形成为贯通支承层(5)，进而到达覆盖构件(6)的凹部(6c)的底面，并具有在该底面开口的开口部(7a)。过孔(7)的开口部(7a)的面积为覆盖构件(6)的凹部(6c)的底面的面积以下。还具备：第一过孔导体部(8a)，设置在过孔(7)；以及第二过孔导体部(8b)，设置在覆盖构件(6)的凹部(6c)。
弹性装置及其制造方法

[发明专利]弹性波装置以及其制造方法-CN201480066259.4有效
发明人：西条慎;山崎央;山本浩司;甲斐诚二;渡边宗久 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2014-12-18 - 公布日： 2018-12-25 - 主分类号： H03H9/145 文献下载
摘要：提供难以出现压电薄膜的破裂或剥落的弹性波装置。在弹性波装置(1)中，在支承基板(2)上层叠将包含压电薄膜(6)的多个膜层叠而成的层叠膜(3)，IDT电极(11)设置在压电薄膜(6)的一面，在IDT电极(11)连接布线电极(12)，布线电极(12)具有引出电极部(13)和焊盘电极部(14)，外部连接端子(7)位于焊盘电极部(14)的上方，外部连接端子(7)与焊盘电极部(14)电连接，在支承基板(2)上，在焊盘电极部(14)上接合外部连接端子(7)，使层叠膜(3)中至少压电薄膜(6)不存在于焊盘电极部(14)的下方。
弹性装置及其制造方法

[发明专利]弹性波装置-CN201480042253.3有效
发明人：比良光善;甲斐诚二 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2014-07-29 - 公布日： 2018-04-10 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：提供难以出现弹性波元件部所面对的中空部的泄漏不良的弹性波装置。在弹性波装置(1)中，在压电基板(2)上构成具有IDT电极的多个弹性波元件部，在压电基板(2)上设置包围弹性波元件部的支承层(16)，从而形成各弹性波元件部所面对的中空部，在该支承层(16)上层叠封盖构件来构成弹性波元件部所面对的各中空部，支承层(16)具有第1支承层(17)和第2支承层(18)，第1支承层(17)沿着压电基板(2)的外周缘，第2支承层(18)位于被第1支承层(17)包围的区域内，设置在弹性波元件部的周围，以使得具有各弹性波元件部所存在的中空部，中空路径(19)设置在第1支承层(17)与第2支承层(18)间，且将中空路径(19)设置成连通至少2个中空部。
弹性装置

[发明专利]声表面波设备及其制造方法-CN201480045825.3有效
发明人：安岛大介;甲斐诚二 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2014-06-27 - 公布日： 2017-12-01 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：本发明提供一种能够抑制在切割时供电线从压电基板剥离，并抑制密闭空间的密闭性降低的声表面波设备及其制造方法。在压电基板的主面(11a)，形成导电图案，该导电图案包含声表面波元件图案、焊盘、和与焊盘电连接并延伸到主面(11a)的外周缘(11x)的供电线(18j)。隔着支撑层，压电基板与外罩接合，形成被压电基板、外罩以及框部(32)包围的密闭空间，其中，该支撑层包含；沿着主面(11a)的外周缘(11x)并与外周缘(11x)之间设有间隔地形成为框状的框部(32)、和形成在焊盘上的焊盘邻接部。支撑层在框部(32)之中的从焊盘邻接部分离的独立部分与供电线(18j)交叉的交叉部分(32x)的附近，还包含与供电线(18j)交叉的加强部(36)。
表面波设备及其制造方法

[发明专利]弹性波装置的制造方法以及弹性波装置-CN201380060102.6在审
发明人：比良光善;甲斐诚二 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2013-10-22 - 公布日： 2015-07-22 - 主分类号： H03H3/08 文献下载
摘要：提供能减少短路不良和泄漏不良的发生的弹性波装置的制造方法。在具有压电性的母基板(10)的一方主面上形成多个功能元件部(11)、和将多个功能元件部(11)电连接的连接线(12)。在母基板(10)的一方主面上形成包围功能元件部(11)的树脂制的支承层(20)。通过按照切割线将具有母基板(10)、功能元件部(11)以及支承层(20)的层叠体(35)分断成多个，来得到具有功能元件部(11)的弹性波装置(1)。连接线(12)具有：位于切割线上的线主体(12a)；和将线主体(12a)和功能元件部(11)电连接的连接部(12b)。在层叠体(35)的分断前，在母基板(10)上与支承层(20)分离地形成在线主体(12a)的宽度方向上跨线主体(12a)的树脂制的保持构件(21)。
弹性装置制造方法以及

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