[发明专利]用于处理、涂覆或固化基材的设备和方法有效
| 申请号： | 201880077271.3 | 申请日： | 2018-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN111418041B | 公开（公告）日： | 2023-10-17 |
| 发明（设计）人： | 亚历山大·约翰·托平;詹姆斯·蒂乌·希普曼;罗伯特·威廉·贾曼 | 申请（专利权）人： | CAMVAC有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C14/35;C23C16/50;H01J37/34 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 唐述灿 |
| 地址： | 英国诺*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于处理或固化基材的设备，该设备包括：布置为传送移动的柔性基材(104)的支撑件(102)，布置为产生等离子体(112)的等离子体发生器(110)，布置为在空间上限定等离子体的磁体阵列(114)，其中磁体阵列包括：具有第一极性的第一细长磁体(404)；具有与第一极性相反的第二极性且基本平行于第一细长磁体的第二细长磁体(406)，使得第一细长磁体和第二细长磁体限定第一平直磁通部分(204)；具有第一极性且基本平行于第一细长磁体的第三细长磁体(408)，使得第二和第三细长磁体限定第二平直磁通部分，该第二平直磁通部分通过第一弯曲磁通部分(206)连接到第一平直磁通部分；具有第二极性且基本平行于第一细长磁体的第四细长磁体(410)，使得第三细长磁体和第四细长磁体限定第三平直磁通部分，该第三平直磁通量部分通过第二弯曲磁通部分连接到第二平直磁通部分。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 处理 固化 基材 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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