[发明专利]阀组合体

摘要

本发明涉及能够容易地设置在真空室的排气线且阀构成排气线的一部分而通过阀的水平移动来完全阻断流入闸阀内部的工程污染物质及副产物且排气效果极佳的阀组合体，本发明的阀组合体包括：阀外壳，在真空腔室排气线的一部分被去除的状态下，被插入设置到所述排气线的去除部分，向所述排气线的连通方向开口且向垂直于所述连通方向的方向具有一定的内部空间；阀，可水平移动地设置在所述阀外壳内部，在所述阀外壳内部水平移动而连通或阻断所述排气线；阀驱动部，与所述阀相连地设置在所述阀外壳的一侧，使得所述阀向垂直于所述排气线的方向水平移动；阀移动引导部，设置在所述阀外壳内部而引导所述阀的移动路线。