[发明专利]阀组合体

说明书

本发明涉及能够容易地设置在真空室的排气线且阀构成排气线的一部分而通过阀的水平移动来完全阻断流入闸阀内部的工程污染物质及副产物且排气效果极佳的阀组合体，本发明的阀组合体包括：阀外壳，在真空腔室排气线的一部分被去除的状态下，被插入设置到所述排气线的去除部分，向所述排气线的连通方向开口且向垂直于所述连通方向的方向具有一定的内部空间；阀，可水平移动地设置在所述阀外壳内部，在所述阀外壳内部水平移动而连通或阻断所述排气线；阀驱动部，与所述阀相连地设置在所述阀外壳的一侧，使得所述阀向垂直于所述排气线的方向水平移动；阀移动引导部，设置在所述阀外壳内部而引导所述阀的移动路线。

技术领域

本发明涉及阀组合体，更具体地说，涉及能够容易地设置在真空室的排气线且阀构成排气线的一部分而通过阀的水平移动来完全阻断流入闸阀内部的工程污染物质及副产物且排气效果极佳的阀组合体。

背景技术

在半导体、LCD、LED、太阳电池等精密制造领域，广泛使用制造过程中能够保持设备内部压力低于大气压的真空设备。这种真空设备包括用于抽吸和排出真空设备内部的气体以保持真空设备内部较低压力的真空泵以及连接该真空泵和真空设备的排气管线。

并且，该排气线上设置有闸阀而用于排气线本身的开闭。现有的闸阀如图1所示，设置在排气线10的中间，包括阀外壳40，阀20以及阀驱动部(附图中未示出)。

首先，阀20是阻断所述排气线10的构件，向垂直于所述排气线10的方向移动。并且，所述阀外壳40提供所述阀20移动的路线，设置在排气线10而起到防止通过排气线排出的气体向外部泄漏的作用。最后，阀驱动部结合到所述阀20的后端而起到驱动所述阀20的作用。

但是，这种结构的闸阀如图1所示，闸阀内阀20与阀外壳40之间的空间未被阻断，存在通过排气线10排出的工程副产物或污染物质30积聚在所述阀外壳40内部及阀20表面的问题。

因工程副产物或污染物质30积聚在阀外壳40内部或阀20上，存在导致阀外壳40或阀20腐蚀而产生驱动不良且需要频繁维修的致命问题，以及因不必要的摩擦导致排气能力下降的问题。

发明内容

(要解决的技术问题)

本发明要解决的技术问题是提供一种能够容易地设置在真空室的排气线，阀构成排气线的一部分而通过该阀的水平移动来完全阻断流入闸阀内部的工程污染物质及副产物且排气效果极佳的阀组合体。

(解决问题的手段)

用于解决前述技术问题的本发明的阀组合体包括：阀外壳，在真空腔室排气线的一部分被去除的状态下，被插入设置到所述排气线的去除部分，向所述排气线的连通方向开口且向垂直于所述连通方向的方向具有一定的内部空间；阀，可水平移动地设置在所述阀外壳内部，在所述阀外壳内部水平移动而连通或阻断所述排气线；阀驱动部，与所述阀相连地设置在所述阀外壳的一侧，使得所述阀向垂直于所述排气线的方向水平移动；阀移动引导部，设置在所述阀外壳内部而引导所述阀的移动路线。

并且，本发明中，优选地，所述阀外壳包括：外壳主体，提供所述阀的水平移动空间；一对开口部，结合到所述外壳主体中所述排气线的状态下向所述排气线的连通方向开口。

并且，本发明中，优选地，所述阀包括：上部叶片，连通或阻断所述一对开口部中的上侧开口部；下部叶片，与上部叶片并排设置在所述上部叶片下侧，连通或阻断所述一对开口部中的下侧开口部；叶片连接部，设置在所述上部叶片与下部叶片之间，以能够自由改变所述上部叶片与下部叶片之间的间隔地连接所述上部叶片与下部叶片；多个突起部，在所述上下部叶片的各侧面突出，可滑动地结合到所述阀移动引导部。

并且，本发明中，优选地，所述上部叶片包括：连通孔，以厚度方向贯通所述上部叶片而形成；密封部，邻接所述连通孔而形成，形成大小与所述连通孔相同的密封件插入槽；密封件，插入设置到所述密封件插入槽，所述密封部阻断所述阀外壳的开口部时，阻断所述上部叶片与阀外壳之间的缝隙。