[发明专利]用于钨化学机械抛光的组合物在审
| 申请号： | 201880059978.1 | 申请日： | 2018-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN111094481A | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | K.P.多克里;T.卡特;M.E.卡恩斯;J.范库伊肯;P.辛格 | 申请（专利权）人： | 嘉柏微电子材料股份公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;C09K3/14 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邢岳 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于抛光具有钨层的基板的化学机械抛光组合物，其包括基于水的液体载剂、分散于该液体载剂中的研磨剂颗粒、含铁的促进剂及具有氨基酸单体的阳离子型聚合物。用于化学机械抛光包括钨层的基板的方法，其包括使该基板与上述抛光组合物接触、相对于该基板移动该抛光组合物、及研磨该基板以自该基板移除一部分该钨并由此抛光该基板。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 化学 机械抛光 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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