[发明专利]用于带电粒子浸没以增强电压对比缺陷信号的系统和方法有效
| 申请号： | 201880050688.0 | 申请日： | 2018-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN111052298B | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | F·N·张;陈仲玮;王義向;Y·C·沈 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;张昊 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了用于在带电粒子束装置中实施带电粒子浸没的系统和方法。根据特定实施例，带电粒子束系统包括带电粒子源和控制器，控制器控制带电粒子束系统以第一模式和第二模式发射带电粒子束，在第一模式中束被散焦，而在第二模式中束被聚焦在样本的表面上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 带电 粒子 浸没 增强 电压 对比 缺陷 信号 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司，未经ASML荷兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880050688.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：制造用于鞋类物品的鞋外底部件的方法
- 下一篇：真菌感染的诊断和风险分层
