[发明专利]用于带电粒子浸没以增强电压对比缺陷信号的系统和方法

权利要求书

1.一种带电粒子束系统，包括：

带电粒子源，被配置为沿光轴发射带电粒子束；

可调孔径，被配置为允许所述带电粒子束通过，所述可调孔径是可改变的，用于提供选择的孔径尺寸；以及

控制器，被配置为：

控制所述带电粒子束系统，以便以第一模式发射所述带电粒子束，在所述第一模式中，所述带电粒子束以第一孔径尺寸通过所述可调孔径并且以第一电流水平入射到样本上，并且入射到所述样本上的所述带电粒子束被散焦，从而利用所述带电粒子束的带电粒子浸没所述样本的表面上的区域；

控制所述带电粒子束系统，以便以第二模式发射所述带电粒子束，在所述第二模式中，所述带电粒子束以第二孔径尺寸通过所述可调孔径并且以第二电流水平入射到所述样本上，并且入射到所述样本上的所述带电粒子束被聚焦到所述样本的所述表面；并且

在所述第一模式和所述第二模式之间切换所述带电粒子束系统。

2.根据权利要求1所述的带电粒子束系统，其中所述控制器进一步被配置为：

在所述第一模式中在所述样本的表面上形成第一斑；以及

在所述第二模式中在所述样本的表面上形成第二斑。

3.根据权利要求1所述的带电粒子束系统，其中所述第一电流水平大于或等于所述第二电流水平。

4.根据权利要求1所述的带电粒子束系统，其中所述第一电流水平大于所述第二电流水平。

5.根据权利要求2所述的带电粒子束系统，其中所述第一斑比所述第二斑更加散焦。

6.根据权利要求2所述的带电粒子束系统，其中所述控制器进一步被配置为：

形成具有第一斑尺寸的所述第一斑，以及

形成具有第二斑尺寸的所述第二斑，其中所述第一斑尺寸大于所述第二斑尺寸。

7.根据权利要求1所述的带电粒子束系统，其中所述控制器进一步被配置为：

在所述第二模式中对所述样本执行带电粒子束检查。

8.根据权利要求1所述的带电粒子束系统，进一步包括：

孔径板，其上形成有第一孔径和第二孔径，其中所述第一孔径的尺寸大于所述第二孔径的尺寸；以及

电机，被配置为调整所述孔径板的位置；

其中所述控制器被配置为：

移动所述孔径板，使得所述第一孔径在所述第一模式中与所述光轴对准；并且

移动所述孔径板，使得所述第二孔径在所述第二模式中与所述光轴对准。

9.根据权利要求1所述的带电粒子束系统，其中所述带电粒子束系统是扫描电子显微镜，并且所述带电粒子束是电子束。

10.一种使用带电粒子束系统检查样本的方法，所述方法包括：

以第一孔径尺寸通过可调孔径板发射带电粒子束，以使所述带电粒子束以第一电流水平入射到所述样本上，所述带电粒子束在所述样本的表面上被散焦，从而利用所述带电粒子束的带电粒子浸没所述样本的所述表面上的区域；以及

以第二孔径尺寸通过可调孔径板发射带电粒子束，以使所述带电粒子束以第二电流水平入射到所述样本上，所述带电粒子束在所述样本的表面上被聚焦。

11.根据权利要求10所述的方法，进一步包括：

调整所述可调孔径，使得所述第二电流水平小于所述第一电流水平。

12.根据权利要求10所述的方法，进一步包括：

对所述样本执行带电粒子束检查。

13.根据权利要求10所述的方法，进一步包括：

在所述第一电流水平下在所述样本的表面上形成第一斑；以及

在所述第二电流水平下在所述样本的表面上形成第二斑。