[发明专利]工件保持夹具和电镀装置在审

专利信息
申请号: 201880049035.0 申请日: 2018-05-23
公开(公告)号: CN110959051A 公开(公告)日: 2020-04-03
发明(设计)人: 西元一善;立花眞司;村越雅弘;奥田朋士 申请(专利权)人: 上村工业株式会社
主分类号: C25D17/08 分类号: C25D17/08
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 沈捷
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 在工件保持夹具(1A)中包括背面板(11)和框体(12),框体(12)包括:环状的主体(13);遍及主体13的整周设置的导电构件(15);接触构件(16),所述接触构件(16)以能够与工件的周缘部(101)电接触的方式与导电构件(15)电连接并沿导电构件(15)设置;密封构件(17),所述密封构件(17)在比接触构件(16)更靠内侧的位置遍及主体(13)的整周设置,其中,框体(12)在密封构件(17)和接触构件(16)与工件的周缘部(101)抵接的状态下构成收容周缘部(101)、导电构件(15)和接触构件(16)的密封空间(5),框体(12)具有用于将液体填充到密封空间(5)中的液体注入口。
搜索关键词: 工件 保持 夹具 电镀 装置
【主权项】:
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