[发明专利]工件保持夹具和电镀装置在审
申请号: | 201880049035.0 | 申请日: | 2018-05-23 |
公开(公告)号: | CN110959051A | 公开(公告)日: | 2020-04-03 |
发明(设计)人: | 西元一善;立花眞司;村越雅弘;奥田朋士 | 申请(专利权)人: | 上村工业株式会社 |
主分类号: | C25D17/08 | 分类号: | C25D17/08 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 沈捷 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 在工件保持夹具(1A)中包括背面板(11)和框体(12),框体(12)包括:环状的主体(13);遍及主体13的整周设置的导电构件(15);接触构件(16),所述接触构件(16)以能够与工件的周缘部(101)电接触的方式与导电构件(15)电连接并沿导电构件(15)设置;密封构件(17),所述密封构件(17)在比接触构件(16)更靠内侧的位置遍及主体(13)的整周设置,其中,框体(12)在密封构件(17)和接触构件(16)与工件的周缘部(101)抵接的状态下构成收容周缘部(101)、导电构件(15)和接触构件(16)的密封空间(5),框体(12)具有用于将液体填充到密封空间(5)中的液体注入口。 | ||
搜索关键词: | 工件 保持 夹具 电镀 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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