[发明专利]用于测量物体的层厚的方法和设备有效
| 申请号： | 201880029441.0 | 申请日： | 2018-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN110914635B | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 本杰明·利陶;乔凡尼·肖伯;斯蒂芬·克雷姆林 | 申请（专利权）人： | 伊诺艾克斯有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 石伟 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明描述一种用于测量物体的层厚的方法和设备。首先，提供具有一定层厚的物体。随后，执行至少两个测量步骤(M |
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| 搜索关键词： | 用于 测量 物体 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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