[发明专利]使用基于重复率的增益估算器的改进的激光能量和剂量控制有效
| 申请号： | 201880026865.1 | 申请日： | 2018-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN110546579B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 赵颖博;K·M·奥布里恩 | 申请（专利权）人： | 西默有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/23 | 分类号： | G03F7/23;H01S3/10;H01S3/13 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 吕世磊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 通过创建和使用增益估算器集合改善激光系统的激光能量控制和所得的剂量控制，增益估算器集合中的一个增益估算器用于激光脉冲重复率集合或范围中的每个激光脉冲重复率。当使用新的重复率时，其对应的增益估算器被检索，用于计算电压以使激光源发射，并且被更新。由此所得的生成的激光避免了现有激光系统中固有的会聚延迟，并且进一步可以以随后的指定的重复率重复这样做。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 基于 重复 增益 估算 改进 激光 能量 剂量 控制 | ||
【主权项】：
1.一种激光能量控制的方法，包括：/n在激光系统控制器中接收第一激光触发命令和电压命令；/n由所述激光系统控制器将所述电压命令转换为第一能量目标；/n由所述激光系统控制器基于所述第一激光触发命令与先前的激光触发命令之间的差异，确定第一激光重复率；/n由所述激光系统控制器检索对应于所述第一激光重复率的第一重复率增益估算器；/n由所述激光系统控制器使用所述第一能量目标和所述第一重复率增益估算器确定第一激光电压；/n由所述激光系统控制器引导激光源使用所述第一激光电压发射；/n在所述激光系统控制器中接收后续的激光触发命令和后续的电压命令；/n由所述激光系统控制器将所述后续的电压命令转换为第二能量目标；/n由所述激光系统控制器基于所述后续的激光触发命令与所述第一激光触发命令之间的差异，确定第二激光重复率，其中所述第二激光重复率与所述第一激光重复率不同；/n由所述激光系统控制器检索对应于所述第二激光重复率的第二重复率增益估算器；/n由所述激光系统控制器使用所述第二能量目标和所述第二重复率增益估算器确定第二激光电压；以及/n由所述激光系统控制器引导所述激光源使用所述第二激光电压发射。/n
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