[实用新型]一种薄膜电阻测试装置有效
| 申请号： | 201822251318.3 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN209542813U | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 董学忠;方伟峰;文娟·刘·麦蒂斯 | 申请（专利权）人： | 微宏动力系统（湖州）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/389 | 分类号： | G01R31/389 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 313000 浙江省湖州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种薄膜电阻测试装置，包括绝缘柱和绝缘座，所述绝缘柱底面嵌设上电极，所述绝缘座设有开口向上的测试槽，所述测试槽底面嵌设下电极，所述绝缘柱和测试槽共轴配合使待测薄膜置于上电极和下电极之间，所述测试槽的侧壁设有环形分布的第一储液槽，和/或所述绝缘柱外周面设有液槽。该装置能够在液体环境下快速测试薄膜电阻，在装夹和测试过程中，防止测试腔内的液体外溢，同时顺利缓冲并排出测试腔内的气体，使得整个测试过程平稳可靠，测试结果准确。 | ||
| 搜索关键词： | 测试槽 绝缘柱 薄膜电阻 测试过程 测试装置 电极 测试腔 绝缘座 下电极 底面 嵌设 本实用新型 环形分布 开口向上 快速测试 液体环境 液体外溢 储液槽 外周面 缓冲 侧壁 共轴 液槽 薄膜 配合 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜电阻测试装置，包括绝缘柱(10)和绝缘座(20)，所述绝缘柱(10)底面嵌设上电极(102)，所述绝缘座(20)设有开口向上的测试槽(201)，所述测试槽(201)底面嵌设下电极(202)，所述绝缘柱(10)和测试槽(201)共轴配合使待测薄膜(30)置于上电极(102)和下电极(202)之间，其特征在于：所述测试槽(201)的侧壁设有至少一个环形分布的第一储液槽(204)和/或所述绝缘柱(10)外周面设有液槽(104)。
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