[实用新型]一种薄膜电阻测试装置

权利要求书

1.一种薄膜电阻测试装置，包括绝缘柱(10)和绝缘座(20)，所述绝缘柱(10)底面嵌设上电极(102)，所述绝缘座(20)设有开口向上的测试槽(201)，所述测试槽(201)底面嵌设下电极(202)，所述绝缘柱(10)和测试槽(201)共轴配合使待测薄膜(30)置于上电极(102)和下电极(202)之间，其特征在于：所述测试槽(201)的侧壁设有至少一个环形分布的第一储液槽(204)和/或所述绝缘柱(10)外周面设有液槽(104)。

2.根据权利要求1所述的薄膜电阻测试装置，其特征在于：所述第一储液槽(204)包括一个第一储液槽体(204a)且第一储液槽体(204a)沿测试槽(201)的侧壁环绕后首尾相接或者错开。

3.根据权利要求1所述的薄膜电阻测试装置，其特征在于：所述第一储液槽(204)包括多个第一储液槽体(204a)，所述第一储液槽体(204a)之间互相隔开或者通过第一连通结构(204b)互相连通。

4.根据权利要求1所述的薄膜电阻测试装置，其特征在于：所述测试槽(201)的侧壁至少设有一个竖向的第一凹槽(206)。

5.根据权利要求4所述的薄膜电阻测试装置，其特征在于：所述第一凹槽(206)包括导通测试槽(201)底面至顶面的槽，导通测试槽(201)底面至第一储液槽(204)的槽，或导通第一储液槽(204)至测试槽(201)顶面的槽中的至少一种。

6.根据权利要求1所述的薄膜电阻测试装置，其特征在于：所述液槽(104)包括第二储液槽(106)和/或第二凹槽(108)。

7.根据权利要求6所述的薄膜电阻测试装置，其特征在于：所述第二储液槽(106)呈环形分布在绝缘柱(10)外周面，所述第二凹槽(108)竖向设置在绝缘柱(10)外周面。

8.根据权利要求6所述的薄膜电阻测试装置，其特征在于：所述第二储液槽(106)包括一个第二储液槽体(106a)且第二储液槽体(106a)沿绝缘柱(10)外周面环绕后首尾相接或者错开。

9.根据权利要求6所述的薄膜电阻测试装置，其特征在于：所述第二储液槽(106)包括多个第二储液槽体(106a)，所述第二储液槽体(106a)之间互相隔开或者通过第二连通结构(106b)互相连通。

10.根据权利要求6所述的薄膜电阻测试装置，其特征在于：所述第二凹槽(108)包括导通绝缘柱(10)底面至顶面的槽，导通绝缘柱(10)底面至第二储液槽(106)的槽，或导通第二储液槽(106)至绝缘柱(10)顶面的槽中的至少一种。

11.根据权利要求1所述的薄膜电阻测试装置，其特征在于：所述上电极(102)下底面凸出绝缘柱(10)底面，和/或所述下电极(202)上底面凸出测试槽(201)底面。

12.根据权利要求1所述的薄膜电阻测试装置，其特征在于：所述上电极(102)侧壁与绝缘柱(10)之间设有密封结构(40)；以及下电极(202)侧壁与绝缘座(20)之间设有密封结构(40)。