[实用新型]一种光调制局部加强的晶体生长装置有效
| 申请号： | 201822245239.1 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN209307515U | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | 李成明;杨功寿;陈建;倪绿军;张国义 | 申请（专利权）人： | 北京大学东莞光电研究院 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B9/10 |
| 代理公司： | 东莞恒成知识产权代理事务所(普通合伙) 44412 | 代理人： | 邓燕 |
| 地址： | 523808 广东省东莞市松*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种光调制局部加强的晶体生长装置，包括反应釜、激光光源、设置在反应釜内的坩埚、装载在坩埚内反应溶液、浸在反应溶液内的籽晶以及光束整型元器件，反应釜设有入射窗口，激光光源发出的光束通过入射窗口射入坩埚内，光束整型元器件设于入射窗口与籽晶之间，通过光束整型元器件可将光束汇聚在籽晶的局部位置或通过光束整型元器件可减弱籽晶局部位置的光束，与现有技术相比，本实用新型增设有光束整型元器件，激光光源发出的光束通过入射窗口射入坩埚内，光束整型元器件可汇聚或减弱光束，光束通过光束整型元器件后在籽晶背面形成明暗区域，从而实现籽晶局部位置的光强度和温度调整，有效局部地增强或减弱晶体生长速率。 | ||
| 搜索关键词： | 整型 元器件 籽晶 入射窗口 坩埚 光束通过 激光光源 局部位置 反应釜 晶体生长装置 本实用新型 反应溶液 局部加强 光调制 射入 光束汇聚 晶体生长 明暗区域 温度调整 籽晶背面 装载 增设 汇聚 | ||
【主权项】：
1.一种光调制局部加强的晶体生长装置，包括反应釜、激光光源、设置在反应釜内的坩埚、装载在坩埚内反应溶液以及浸在反应溶液内的籽晶，反应釜设有入射窗口，激光光源发出的光束通过入射窗口射入坩埚内，其特征在于，还包括光束整型元器件，光束整型元器件设于入射窗口与籽晶之间，通过光束整型元器件可将光束汇聚在籽晶的局部位置或通过光束整型元器件可减弱籽晶局部位置的光束。
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