[实用新型]一种晶振片的保护装置及真空蒸镀系统有效
| 申请号： | 201822203193.7 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN209412309U | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 涂丽娜;李浩永;蔡瑞芝 | 申请（专利权）人： | 合肥欣奕华智能机器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 230013 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种晶振片的保护装置及真空蒸镀系统，涉及真空镀膜设备领域，能够保护晶振片，减少其污染，节约真空蒸镀技术的生产成本。一种晶振片的保护装置，所述晶振片设置在真空蒸镀系统的腔室内，所述保护装置包括设置在所述腔室内的保护罩，所述保护罩具有端口，且所述端口敞开，所述晶振片位于所述保护罩内，所述端口处连接有驱动装置，所述驱动装置连接有气体传感器，且所述气体传感器位于所述腔室内，当所述气体传感器检测到所述腔室内有气体存在时，所述驱动装置驱动所述保护罩的端口闭合。本实用新型用于保护真空蒸镀系统内的晶振片。 | ||
| 搜索关键词： | 保护装置 真空蒸镀系统 保护罩 晶振片 气体传感器 驱动装置 室内 振片 种晶 本实用新型 真空镀膜设备 真空蒸镀技术 闭合 端口敞开 端口处 生产成本 驱动 检测 节约 污染 | ||
【主权项】：
1.一种晶振片的保护装置，所述晶振片设置在真空蒸镀系统的腔室内，其特征在于，所述保护装置包括设置在所述腔室内的保护罩，所述保护罩具有端口，且所述端口敞开，所述晶振片位于所述保护罩内，所述端口处连接有驱动装置，所述驱动装置连接有气体传感器，且所述气体传感器位于所述腔室内，当所述气体传感器检测到所述腔室内有气体存在时，所述驱动装置驱动所述保护罩的端口闭合。
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