[实用新型]一种晶振片的保护装置及真空蒸镀系统

权利要求书

1.一种晶振片的保护装置，所述晶振片设置在真空蒸镀系统的腔室内，其特征在于，所述保护装置包括设置在所述腔室内的保护罩，所述保护罩具有端口，且所述端口敞开，所述晶振片位于所述保护罩内，所述端口处连接有驱动装置，所述驱动装置连接有气体传感器，且所述气体传感器位于所述腔室内，当所述气体传感器检测到所述腔室内有气体存在时，所述驱动装置驱动所述保护罩的端口闭合。

2.根据权利要求1所述的晶振片的保护装置，其特征在于，当所述气体传感器检测到所述腔室内没有气体存在时，所述驱动装置驱动所述保护罩的端口打开。

3.根据权利要求2所述的晶振片的保护装置，其特征在于，所述驱动装置包括第一夹板和第二夹板，所述第一夹板和所述第二夹板相对设置在所述保护罩上，且所述端口位于所述第一夹板和所述第二夹板之间，其中所述第二夹板的位置固定，所述第一夹板可在靠近和远离所述第二夹板的方向上移动；所述驱动装置还包括动力组件，所述动力组件与所述气体传感器电连接，当所述气体传感器检测到所述腔室内有气体存在时，所述动力组件驱动所述第一夹板向靠近所述第二夹板的方向移动，所述第一夹板和所述第二夹板贴合，以使所述端口闭合，当所述气体传感器检测到所述腔室内没有气体存在时，所述动力组件驱动所述第一夹板向远离所述第二夹板的方向移动，所述第一夹板和所述第二夹板分离，以使所述端口打开。

4.根据权利要求3所述的晶振片的保护装置，其特征在于，所述动力组件包括磁通线圈，所述磁通线圈与所述气体传感器电连接，当所述气体传感器检测到所述腔室内有气体存在时，所述磁通线圈电路导通产生磁力；

所述动力组件还包括与所述磁通线圈配合的配合件，当所述气体传感器检测到所述腔室内有气体存在时，所述磁通线圈电路导通，产生对所述配合件具有吸附作用的磁力；

所述磁通线圈设置在所述第一夹板和所述第二夹板中的任一个上，所述配合件设置在所述第一夹板和所述第二夹板中的另一个上。

5.根据权利要求4所述的晶振片的保护装置，其特征在于，所述配合件为磁铁，当所述气体传感器检测到所述腔室内没有气体存在时与有气体存在时，所述磁通线圈电路的电流方向相反。

6.根据权利要求4所述的晶振片的保护装置，其特征在于，所述配合件为金属件，所述动力组件还包括复位件，所述复位件用于使所述第一夹板向远离所述第二夹板的方向移动，当所述气体传感器检测到所述腔室内没有气体存在时，所述磁通线圈电路断开。

7.根据权利要求6所述的晶振片的保护装置，其特征在于，所述复位件包括弹簧，所述弹簧设置在所述第一夹板和所述第二夹板之间。

8.根据权利要求5所述的晶振片的保护装置，其特征在于，所述驱动装置还包括支架，所述支架上铰接有横梁，所述第一夹板和所述磁铁设置在所述横梁上，所述磁通线圈靠近所述磁铁设置，且所述磁通线圈与所述第二夹板位于所述横梁的同侧。

9.根据权利要求3所述的晶振片的保护装置，其特征在于，所述第一夹板和所述第二夹板位于所述保护罩的内壁上，所述第一夹板和所述第二夹板中的任一个上开设有卡槽，所述卡槽贯穿所述第一夹板或所述第二夹板，所述第一夹板和所述第二夹板中的另一个上设有与所述卡槽相互配合的卡条。

10.一种真空蒸镀系统，包括腔室和设置在所述腔室内的晶振片，其特征在于，还包括权利要求1～9任一项所述的晶振片的保护装置。