[实用新型]用于功能薄膜的电学测试装置

摘要

本实用新型公开一种用于功能薄膜的电学测试装置，包括电极固定基座、4个铜导线、4个金属铟柱、电压表和电流表，所述电极固定基座开有4个由上置物孔和下置物孔连接的安装通孔，所述铜导线位于下置物孔内，所述金属铟柱位于上置物孔内并与铜导线焊接连接，一压力机构安装于电极固定基座上，测试样品上表面和下表面分别与压力机构的下端和金属铟柱接触，第一双刀双掷开关、第二双刀双掷开关、第三双刀双掷开关和第四双刀双掷开关均包括2个动端、2个通路静端和2个断路静端。本实用新型电学测试装置保证测试装置的持久耐用，测试的数据准确率更高，并保持被测试样品和电极的接触更好，能准确、方便、可重复地测试薄膜电阻率。

主权项

1.一种用于功能薄膜的电学测试装置，其特征在于：包括电极固定基座（1）、4个铜导线（2）、4个金属铟柱（3）、电压表（9）和电流表（11），所述电极固定基座（1）开有4个由上置物孔（7）和下置物孔（8）连接的安装通孔（10），所述铜导线位于下置物孔（8）内，所述金属铟柱（3）位于上置物孔（7）内并与铜导线（2）焊接连接，一压力机构（5）安装于电极固定基座（1）上，测试样品（4）上表面和下表面分别与压力机构（5）的下端和金属铟柱（3）接触；/n第一双刀双掷开关（12）、第二双刀双掷开关（13）、第三双刀双掷开关（14）和第四双刀双掷开关（15）均包括2个动端、2个通路静端和2个断路静端；/n所述第一双刀双掷开关（12）的第一动端、第二动端（121、122）分别通过导线与4个铜导线（2）中的2个铜导线（2）电连接，第一双刀双掷开关（12）的第一通路静端、第二通路静端（123、124）分别与第三双刀双掷开关（14）和第四双刀双掷开关（15）的对应的第五动端、第七动端（141、151）连接；/n所述第二双刀双掷开关（13）的第三动端、第四动端（131、132）分别通过导线与4个铜导线（2）中的另2个铜导线电连接，第二双刀双掷开关（13）的第三通路静端、第四通路静端（133、134）分别与第三双刀双掷开关（14）和第四双刀双掷开关（15）的对应的第六动端、第八动端（142、152）连接；/n所述电流表（11）跨接于第三双刀双掷开关（14）的第五通路静端（143）和第四双刀双掷开关（15）的对应的第七通路静端（153）之间，所述电压表（9）跨接于第三双刀双掷开关（14）的第六通路静端（144）和第四双刀双掷开关（15）的对应的第八通路静端（154）之间。/n