[实用新型]一种柔性双层阈值选通管器件有效

专利信息
申请号: 201822115813.1 申请日: 2018-12-17
公开(公告)号: CN209150156U 公开(公告)日: 2019-07-23
发明(设计)人: 叶葱;周易;徐中;熊文;刘炎欣 申请(专利权)人: 湖北大学
主分类号: H01L45/00 分类号: H01L45/00
代理公司: 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 代理人: 杨采良
地址: 430062 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 实用新型公开一种柔性双层阈值选通管器件。本新型的选通管器件从下至上依次包括柔性衬底、底电极、氧化石墨烯薄膜层、二元过渡金属氧化物介质层和顶电极,所述底电极为ITO;所述二元过渡金属氧化物材料优选为氧化铪薄膜;所述顶电极为铂电极。本新型的优点是:通过在传统过渡金属氧化物介质层和底电极之间设置了一层氧化石墨烯薄膜层,实现了双向阈值选通行为;且本新型的器件在不同弯曲曲率的测试条件下保持良好读写性能,弯曲前后未有明显退化,且操作电压离散度较低,极大地提高了操作电压的一致性以及器件的稳定性。另外,本新型的柔性选通管器件可以有效解决阻变存储器交叉阵列结构中的漏电问题,具有较大的发展潜力。
搜索关键词: 选通管 过渡金属氧化物 氧化石墨烯薄膜 操作电压 底电极 介质层 交叉阵列结构 本实用新型 氧化铪薄膜 阻变存储器 材料优选 测试条件 读写性能 漏电问题 弯曲曲率 有效解决 铂电极 顶电极 离散度 衬底 选通 退化
【主权项】:
1.一种柔性双层阈值选通管器件,其特征在于:所述选通管器件从下至上依次包括柔性衬底、底电极、氧化石墨烯薄膜层、二元过渡金属氧化物介质层和顶电极;其中:所述的柔性衬底材料为聚萘二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺中的任一种;所述的底电极为FTO、ITO、ZTO或TiN材料中的任一种;所述的二元过渡金属氧化物介质层材料为氧化铪、二氧化钛、二氧化锆、氧化锌中的任一种;所述的顶电极材料为Pt。
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