[实用新型]一种柔性双层阈值选通管器件有效
| 申请号： | 201822115813.1 | 申请日： | 2018-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN209150156U | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 叶葱;周易;徐中;熊文;刘炎欣 | 申请（专利权）人： | 湖北大学 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 杨采良 |
| 地址： | 430062 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 选通管 过渡金属氧化物 氧化石墨烯薄膜 操作电压 底电极 介质层 交叉阵列结构 本实用新型 氧化铪薄膜 阻变存储器 材料优选 测试条件 读写性能 漏电问题 弯曲曲率 有效解决 铂电极 顶电极 离散度 衬底 选通 退化 | ||
【权利要求书】：
1.一种柔性双层阈值选通管器件，其特征在于：所述选通管器件从下至上依次包括柔性衬底、底电极、氧化石墨烯薄膜层、二元过渡金属氧化物介质层和顶电极；其中：所述的柔性衬底材料为聚萘二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺中的任一种；所述的底电极为FTO、ITO、ZTO或TiN材料中的任一种；所述的二元过渡金属氧化物介质层材料为氧化铪、二氧化钛、二氧化锆、氧化锌中的任一种；所述的顶电极材料为Pt。
2.根据权利要求1所述的柔性双层阈值选通管器件，其特征在于：所述的底电极为ITO。
3.根据权利要求1所述的柔性双层阈值选通管器件，其特征在于：所述的二元过渡金属氧化物介质层材料为氧化铪。
4.根据权利要求1所述的柔性双层阈值选通管器件，其特征在于：所述底电极厚度为50～300nm，所述氧化石墨烯薄膜层厚度为20～70nm，所述氧化铪薄膜层厚度为20～70nm，所述顶电极的厚度为100～300nm。
5.根据权利要求1所述的柔性双层阈值选通管器件，其特征在于：所述顶电极的形状为圆形或正方形，直径或边长为10nm～100μm。
6.根据权利要求1所述的柔性双层阈值选通管器件，其特征在于：所述底电极形状为圆形或正方形，直径或边长为1～2cm。
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