[实用新型]半导体晶片有效
申请号: | 201822029819.7 | 申请日: | 2018-12-04 |
公开(公告)号: | CN208970547U | 公开(公告)日: | 2019-06-11 |
发明(设计)人: | 陈辰;宋杰;崔周源 | 申请(专利权)人: | 西安赛富乐斯半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/02 | 分类号: | H01L33/02;H01L33/16;H01L33/20;H01L33/00;H01S5/30;B82Y40/00 |
代理公司: | 北京金讯知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11554 | 代理人: | 黄剑飞 |
地址: | 710003 陕西省西安*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本公开涉及一种半导体晶片,其包括:含有半极性面的PSS衬底;第一GaN半导体层,外延生长在PSS衬底的半极性面上,并具有第一厚度第二GaN半导体层,外延生长在第一GaN半导体层表面上,具有第二厚度,其中所述第二GaN半导体层与第一GaN半导体层之间有阻断第一GaN半导体层内的穿透位错的氮化硅岛体。 | ||
搜索关键词: | 半导体晶片 外延生长 半极性 衬底 穿透位错 氮化硅岛 | ||
【主权项】:
1.一种半导体晶片,其包括:含有半极性面的PSS衬底;第一GaN半导体层,外延生长在PSS衬底的半极性面上,并具有第一厚度;第二GaN半导体层,外延生长在第一GaN半导体层表面上,具有第二厚度;其中所述第二GaN半导体层与第一GaN半导体层之间有阻断第一GaN半导体层内的穿透位错的氮化硅岛体。
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