[实用新型]一种用于安装在晶片抛光设备上的抛光液回收装置

摘要

本实用新型涉及回收装置技术领域，尤其为一种用于安装在晶片抛光设备上的抛光液回收装置，包括回收装置主体、收集斗以及积液斗，所述回收装置主体内设有工作台，所述工作台底部固定安装有收集斗，所述收集斗底部固定安装有电机，所述电机顶部固定安装有连接轴，所述连接轴顶部固定安装有搅拌螺旋，所述工作台顶部外围平板之间固定安装有单向导槽，所述工作台顶部中心平板之间固定安装有双向导槽，所述单向导槽与双向导槽交叉口固定安装有漏孔，本实用新型通过设置的单向导槽以及双向导槽，在工作台顶部平板之间固定开设，将多余的抛光液导向漏孔，通过漏孔流入收集斗，将多余的抛光液聚集在收集斗内，使用时可以轻松收集抛光液并很好的聚集。

主权项

1.一种用于安装在晶片抛光设备上的抛光液回收装置，包括回收装置主体(1)、收集斗(9)以及积液斗(11)，其特征在于：所述回收装置主体(1)正面固定安装有工作指示灯(8)，所述回收装置主体(1)底部固定安装有支撑柱(2)，所述支撑柱(2)底部固定安装有固定板(5)，所述支撑柱(2)之间固定安装有固定杆(3)，所述支撑柱(2)一侧固定安装有泵机(6)，所述泵机(6)顶部固定安装有连接管(7)，所述回收装置主体(1)内设有工作台(14)，所述工作台(14)底部固定安装有收集斗(9)，所述收集斗(9)底部固定安装有电机(12)，所述电机(12)顶部固定安装有连接轴(13)，所述连接轴(13)顶部固定安装有搅拌螺旋(15)，所述电机(12)两侧固定安装有过滤层(10)，所述过滤层(10)底部固定安装有积液斗(11)，所述积液斗(11)底部固定安装有传液管(4)，所述工作台(14)顶部固定有挡板(19)，所述挡板(19)内侧固定安装有平板(17)，所述工作台(14)顶部外围平板(17)之间固定安装有单向导槽(18)，所述工作台(14)顶部中心平板(17)之间固定安装有双向导槽(16)，所述单向导槽(18)与双向导槽(16)交叉口固定安装有漏孔(20)。