[实用新型]一种用于安装在晶片抛光设备上的抛光液回收装置

权利要求书

1.一种用于安装在晶片抛光设备上的抛光液回收装置，包括回收装置主体(1)、收集斗(9)以及积液斗(11)，其特征在于：所述回收装置主体(1)正面固定安装有工作指示灯(8)，所述回收装置主体(1)底部固定安装有支撑柱(2)，所述支撑柱(2)底部固定安装有固定板(5)，所述支撑柱(2)之间固定安装有固定杆(3)，所述支撑柱(2)一侧固定安装有泵机(6)，所述泵机(6)顶部固定安装有连接管(7)，所述回收装置主体(1)内设有工作台(14)，所述工作台(14)底部固定安装有收集斗(9)，所述收集斗(9)底部固定安装有电机(12)，所述电机(12)顶部固定安装有连接轴(13)，所述连接轴(13)顶部固定安装有搅拌螺旋(15)，所述电机(12)两侧固定安装有过滤层(10)，所述过滤层(10)底部固定安装有积液斗(11)，所述积液斗(11)底部固定安装有传液管(4)，所述工作台(14)顶部固定有挡板(19)，所述挡板(19)内侧固定安装有平板(17)，所述工作台(14)顶部外围平板(17)之间固定安装有单向导槽(18)，所述工作台(14)顶部中心平板(17)之间固定安装有双向导槽(16)，所述单向导槽(18)与双向导槽(16)交叉口固定安装有漏孔(20)。

2.根据权利要求1所述的一种用于安装在晶片抛光设备上的抛光液回收装置，其特征在于：所述单向导槽(18)靠近漏孔(20)的一端较低，且另一侧较高。

3.根据权利要求1所述的一种用于安装在晶片抛光设备上的抛光液回收装置，其特征在于：所述双向导槽(16)中间较高，且向两端逐渐降低。

4.根据权利要求1所述的一种用于安装在晶片抛光设备上的抛光液回收装置，其特征在于：所述传液管(4)两端固定安装有弯头。

5.根据权利要求1所述的一种用于安装在晶片抛光设备上的抛光液回收装置，其特征在于：所述积液斗(11)通过传液管(4)固定连接泵机(6)。

6.根据权利要求1所述的一种用于安装在晶片抛光设备上的抛光液回收装置，其特征在于：所述收集斗(9)内壁固定安装有多组溜槽。