[实用新型]轴向串动的电极组件及蓝宝石单晶炉有效
申请号: | 201821919380.9 | 申请日: | 2018-11-21 |
公开(公告)号: | CN209307514U | 公开(公告)日: | 2019-08-27 |
发明(设计)人: | 李辉;丁柏松;毛瑞川;王维川;潘清跃 | 申请(专利权)人: | 南京晶升能源设备有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B35/00 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 张弛 |
地址: | 210000 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种轴向串动的电极组件及蓝宝石单晶炉,该电极组件包括炉体电极孔、电极绝缘套、电极、电极安装座、锁紧螺母;在锁紧螺母未锁紧时,电极和电极孔在轴向上相对活动,安装加热器时,通过协同调节电极在轴向上的位置,使加热器能够准确的安装在炉体的正中心,调整完成后通过锁紧螺母将电极锁紧,保证电极不会向炉体内部滑动,从而保证设备整体热场在圆周方向上的均匀性,进而保证良好的晶体品质。该蓝宝石单晶炉具有上述电极组件且具有加热器,加热器抵靠于所述电极上,电极相对于电极孔轴向移动调节所述加热器在炉体中的位置。 | ||
搜索关键词: | 电极 加热器 电极组件 蓝宝石单晶 锁紧螺母 电极孔 炉体 轴向串动 锁紧 本实用新型 电极安装座 电极绝缘套 晶体品质 炉体内部 设备整体 相对活动 轴向移动 均匀性 正中心 滑动 保证 热场 协同 | ||
【主权项】:
1.一种轴向串动的电极组件,其特征在于,包括炉体电极孔(5)、电极绝缘套(7)、电极(1)、电极安装座(2)、锁紧螺母(3);其中,电极绝缘套(7)包裹电极(1)后插入安装在电极孔(5)内,且电极绝缘套(7)的外端向外延伸出凸台部分并抵靠于电极孔(5)的外侧面,电极安装座(2)套在电极(1)外围并抵靠住电极绝缘套(7)的凸台部分,同时电极安装座(2)固定在电极孔(5)外侧面上,且抵靠住电极绝缘套(7)的凸台部分,所述电极绝缘套(7)的凸台部分挤压固定于电极孔(5)外侧面及电极安装座(2)内侧之间;所述电极(1)延伸出电极安装座(2)的部分设有外螺纹,所述锁紧螺母(3)上设有锁紧螺钉(31);锁紧螺母(3)安装在电极(1)的外螺纹处,锁紧螺母(3)未通过锁紧螺钉(31)锁紧时,电极(1)相对于电极孔(5)轴向移动。
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