[实用新型]一种原子层沉积间歇式双面镀膜的卷绕装置

摘要

本实用新型公开一种原子层沉积间歇式双面镀膜的卷绕装置，包括沉积真空室，沉积真空室两端连接放卷真空室和收卷真空室，放卷真空室内设置有放卷辊，放卷辊连接有放卷磁流体，放卷磁流体通过放卷磁粉离合器连接有放卷伺服电机；收卷真空室内设置有收卷辊，收卷辊连接有收卷磁流体，收卷磁流体通过收卷磁粉离合器连接有收卷伺服电机；放卷辊和收卷辊上用于缠绕基带；沉积真空室上下两侧分别交错设置有多个热电偶和加热器；沉积真空室上设置有匀气座；沉积真空室、放卷真空室和收卷真空室上分别开设有抽气口。本实用新型提供的原子层沉积间歇式双面镀膜的卷绕装置，后使原子层沉积简单方便，效率高。

主权项

1.一种原子层沉积间歇式双面镀膜的卷绕装置，其特征在于：包括沉积真空室，所述沉积真空室两端分别连接有放卷真空室和收卷真空室，所述放卷真空室内设置有放卷辊，所述放卷辊连接有放卷磁流体，所述放卷磁流体通过放卷磁粉离合器连接有放卷伺服电机；所述收卷真空室内设置有收卷辊，所述收卷辊连接有收卷磁流体，所述收卷磁流体通过收卷磁粉离合器连接有收卷伺服电机；所述放卷辊和收卷辊上用于缠绕基带；所述沉积真空室上下两侧分别交错设置有多个热电偶和加热器；所述沉积真空室上设置有匀气座；所述沉积真空室、放卷真空室和收卷真空室上分别开设有抽气口。