[实用新型]SF6气体微水红外测试装置

摘要

本实用新型公开了一种SF₆气体微水红外测试装置，包括壳体、光电探测晶元和高透窗，所述光电探测晶元设置在所述壳体内的真空空腔的后段，所述高透窗设置在所述壳体的前端；所述壳体的前端向外延伸使所述真空空腔的体积增大为不小于所述光电探测晶元的体积的三倍，所述壳体的前末端设置有SF₆气体微水过滤膜；所述光电探测晶元连接光电探测器引线，光电信号通过所述光电探测器引线引出。本实用新型具有结构简单、容易加工制作、使用简单方便等优点；加长的壳体与特定波长的过滤膜一体加工成型，有效防止杂散光的射入，确保检测精度；在铜铸壳体下贴有半导体制冷器，可通过控制TEC温度保证空腔腔室内恒温，减少红外滤光片随温度变化的影响。

主权项

1.一种SF₆气体微水红外测试装置，包括壳体（1）、光电探测晶元（2）和高透窗（3），其特征在于，所述光电探测晶元（2）设置在所述壳体（1）内的真空空腔（4）的后段，所述高透窗（3）设置在所述壳体（1）的前端；所述壳体（1）的前端向外延伸使所述真空空腔（4）的体积增大为不小于所述光电探测晶元（2）的体积的三倍，所述壳体（1）的前末端设置有SF₆气体微水过滤膜（5）；所述光电探测晶元（2）连接光电探测器引线（6），光电信号通过所述光电探测器引线（6）引出。