[实用新型]SF6气体微水红外测试装置

说明书

本实用新型公开了一种SF₆气体微水红外测试装置，包括壳体、光电探测晶元和高透窗，所述光电探测晶元设置在所述壳体内的真空空腔的后段，所述高透窗设置在所述壳体的前端；所述壳体的前端向外延伸使所述真空空腔的体积增大为不小于所述光电探测晶元的体积的三倍，所述壳体的前末端设置有SF₆气体微水过滤膜；所述光电探测晶元连接光电探测器引线，光电信号通过所述光电探测器引线引出。本实用新型具有结构简单、容易加工制作、使用简单方便等优点；加长的壳体与特定波长的过滤膜一体加工成型，有效防止杂散光的射入，确保检测精度；在铜铸壳体下贴有半导体制冷器，可通过控制TEC温度保证空腔腔室内恒温，减少红外滤光片随温度变化的影响。

技术领域

本实用新型涉及一种红外探测装置，尤其涉及一种SF₆气体微水红外测试装置。

背景技术

传统的红外探测器主要由光电探测器引线、光电探测晶元、高透窗、金属防护壳体、真空空腔等组成。外界的红外光线透过高透窗射入真空腔体内在光电探测晶元上发生光电效应，光电信号通过光电探测器引线引出。

传统的红外探测器客观上可以响应任何红外光线，因此在气体检测上，很多设备厂家需要在设备前级增加滤光片，把需要波长的光线过滤出来进行探测，但是因为外置滤光片各家厂家性能不同，且搭建的光路系统千差万别，因此滤光片的失效和杂散光就会影响到设备的正常检测精度，这已经成为传统红外检测的主要问题。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是，克服以上所述缺陷，提供一种能有效消除杂散光影响、检测精度高的SF₆气体微水红外测试装置。

为了解决以上所述技术问题，本实用新型所述SF₆气体微水红外测试装置，一种SF₆气体微水红外测试装置，包括壳体、光电探测晶元和高透窗，所述光电探测晶元设置在所述壳体内的真空空腔的后段，所述高透窗设置在所述壳体的前端；所述壳体的前端向外延伸使所述真空空腔的体积增大为不小于所述光电探测晶元的体积的三倍，所述壳体的前末端设置有SF₆气体微水过滤膜；所述光电探测晶元连接光电探测器引线，光电信号通过所述光电探测器引线引出。

进一步，本实用新型所述壳体的下面设置有半导体制冷器。

进一步，本实用新型所述SF₆气体微水过滤膜（5）为波长1314nm的膜。

作为优选，本实用新型所述壳体为铜铸壳体；所述壳体与微水过滤膜统一加工成一个整体。

本实用新型的有益效果：本实用新型具有结构简单、容易加工制作、使用简单方便等优点；加长的金属防护壳体，壳体与特定波长的过滤膜一体加工成型，可以有效防止杂散光的射入，保证了产品的一致性和可靠性，最大程度保证了检测精度；在铜铸壳体下贴有半导体制冷器，可以通过控制TEC温度有效保证探测器腔室内恒温，最大程度保证了红外滤光片随温度变化的影响。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

本实用新型所述SF₆气体微水红外测试装置，一种SF₆气体微水红外测试装置，包括壳体1、光电探测晶元2和高透窗3，所述光电探测晶元2设置在所述壳体1内的真空空腔4的后段，所述高透窗3设置在所述壳体1的前端；所述壳体1的前端向外延伸使所述真空空腔4的体积增大为不小于所述光电探测晶元2的体积的三倍，所述壳体1的前末端设置有SF₆气体微水过滤膜5；所述光电探测晶元2连接光电探测器引线6，光电信号通过所述光电探测器引线6引出。

进一步，本实用新型所述壳体1的下面设置有半导体制冷器7。