[实用新型]一种多工位硅片转移系统

摘要

本实用新型涉及硅片加工技术领域，尤其涉及一种多工位硅片转移系统，包括传送机构、旋转机构、升降机构及吸附机构，由吸附机构将硅片吸取，由升降机构驱动吸附机构沿竖直方向运动，将硅片提起，由旋转机构驱动升降机构旋转，带动硅片做圆周转动，实现位置转移，由传送机构驱动升降机构沿水平方向做往复运动，从而将硅片转移到加工工位上进行后续加工，整个过程自动化操作、设备结构紧凑、传送过程流畅快捷，实现一个转移机构配合多台加工工位，将代加工硅片分别传送至多个加工工位上，工作效率高，解决了现有技术中存在的传送流程长、耗费时间、无法精准定位、单个转移装置无法对接多台加工工位、工作效率低下、设备结构复杂等问题。

主权项

1.一种多工位硅片转移系统，其特征在于，包括：传送机构(1)，所述传送机构(1)为水平设置，其包括下盖板(10)、滑动组件(11)及水平驱动组件(12)，所述滑动组件(11)与所述水平驱动组件(12)平行设置，所述水平驱动组件(12)位于所述下盖板(10)上端面的中线上，所述滑动组件(11)沿所述水平驱动组件(12)的长度方向对称设置于所述下盖板(10)的两侧，所述下盖板(10)由所述水平驱动组件(12)驱动沿滑动组件(11)的长度方向往复滑动；旋转机构(2)，所述旋转机构(2)与所述下盖板(10)的下端面固定连接，其与该下盖板(10)同步滑动，且其包括旋转驱动组件(21)及悬臂组件(22)，所述旋转驱动组件(21)竖直安装于所述下盖板(10)上，所述悬臂组件(22)安装于所述旋转驱动组件(21)的旋转端部，其由该旋转驱动组件(21)驱动旋转设置；升降机构(3)，所述升降机构(3)通过所述悬臂组件(22)与所述旋转机构(2)连接，其随该悬臂组件(22)同步旋转，且其包括竖直驱动组件(31)及导向组件(32)，所述竖直驱动组件(31)与所述导向组件(32)平行设置；以及吸附机构(4)，所述吸附机构(4)包括连接板(41)及吸附组件(42)，所述吸附组件(42)通过连接板(41)安装于所述竖直驱动组件(31)的推送端，该吸附组件(42)由所述竖直驱动组件(31)驱动竖直升降吸附硅片(5)。