[实用新型]一种多工位硅片转移系统

权利要求书

1.一种多工位硅片转移系统，其特征在于，包括：

传送机构(1)，所述传送机构(1)为水平设置，其包括下盖板(10)、滑动组件(11)及水平驱动组件(12)，所述滑动组件(11)与所述水平驱动组件(12)平行设置，所述水平驱动组件(12)位于所述下盖板(10)上端面的中线上，所述滑动组件(11)沿所述水平驱动组件(12)的长度方向对称设置于所述下盖板(10)的两侧，所述下盖板(10)由所述水平驱动组件(12)驱动沿滑动组件(11)的长度方向往复滑动；

旋转机构(2)，所述旋转机构(2)与所述下盖板(10)的下端面固定连接，其与该下盖板(10)同步滑动，且其包括旋转驱动组件(21)及悬臂组件(22)，所述旋转驱动组件(21)竖直安装于所述下盖板(10)上，所述悬臂组件(22)安装于所述旋转驱动组件(21)的旋转端部，其由该旋转驱动组件(21)驱动旋转设置；

升降机构(3)，所述升降机构(3)通过所述悬臂组件(22)与所述旋转机构(2)连接，其随该悬臂组件(22)同步旋转，且其包括竖直驱动组件(31)及导向组件(32)，所述竖直驱动组件(31)与所述导向组件(32)平行设置；以及

吸附机构(4)，所述吸附机构(4)包括连接板(41)及吸附组件(42)，所述吸附组件(42)通过连接板(41)安装于所述竖直驱动组件(31)的推送端，该吸附组件(42)由所述竖直驱动组件(31)驱动竖直升降吸附硅片(5)。

2.根据权利要求1所述的一种多工位硅片转移系统，其特征在于，所述滑动组件(11)包括：

滑轨(111)，所述滑轨(111)通过安装架(110)水平对称设置于所述下盖板(10)上端面的两侧；以及

滑块(112)，若干所述滑块(112)上端面分别卡设于所述滑轨(111)上，下端面分别与所述下盖板(10)固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种多工位硅片转移系统，其特征在于，所述水平驱动组件(12)包括：

水平驱动件(121)，所述水平驱动件(121)设置于所述安装架(110)延长度方向的一侧；

滚珠丝杠(122)，所述滚珠丝杠(122)一端与所述水平驱动件(121)同轴设置，另一端转动设置于所述安装架(110)背离所述水平驱动件(121)的一端，所述水平驱动件(121)驱动所述滚珠丝杠(122)旋转；以及

滚珠螺母(123)，所述滚珠螺母(123)套设于所述滚珠丝杠(122)上，且其与所述下盖板(10)的上端面固定连接，所述滚珠螺母(123)由所述滚珠丝杠(122)旋转带动沿所述滚珠丝杠(122)的长度方向水平往复滑动。

4.根据权利要求1所述的一种多工位硅片转移系统，其特征在于，所述旋转驱动组件(21)包括：

连接块(211)，所述连接块(211)固定设置于所述下盖板(10)的下端面上；

安装板(212)，所述安装板(212)固定设置于所述连接块(211)的下端面上；

旋转驱动件(213)，所述旋转驱动件(213)固定设置于所述安装板(212)的下端面上；以及

旋转轴座(214)，所述旋转轴座(214)固定设置于所述旋转驱动件(213)的底部，其由所述旋转驱动件(213)驱动旋转。

5.根据权利要求1所述的一种多工位硅片转移系统，其特征在于，所述悬臂组件(22)包括：

连接法兰(221)，所述连接法兰(221)与所述旋转驱动组件(21)的底部同轴设置，其由所述旋转驱动组件(21)带动旋转；以及

悬臂(222)，所述悬臂(222)为水平设置，其一端与所述连接法兰(221)的底部固定连接，另一端悬空设置。

6.根据权利要求5所述的一种多工位硅片转移系统，其特征在于，所述竖直驱动组件(31)包括：

安装座(311)，所述安装座(311)竖直设置于所述悬臂(222)悬空设置的一端；

竖直驱动件(312)，所述竖直驱动件(312)设置于所述安装座(311)上；以及

竖直驱动轴(313)，所述竖直驱动轴(313)穿设于所述竖直驱动件(312)上，其由所述竖直驱动件(312)带动竖直往复运动。