[实用新型]一种多工位硅片转移系统

说明书

本实用新型涉及硅片加工技术领域，尤其涉及一种多工位硅片转移系统，包括传送机构、旋转机构、升降机构及吸附机构，由吸附机构将硅片吸取，由升降机构驱动吸附机构沿竖直方向运动，将硅片提起，由旋转机构驱动升降机构旋转，带动硅片做圆周转动，实现位置转移，由传送机构驱动升降机构沿水平方向做往复运动，从而将硅片转移到加工工位上进行后续加工，整个过程自动化操作、设备结构紧凑、传送过程流畅快捷，实现一个转移机构配合多台加工工位，将代加工硅片分别传送至多个加工工位上，工作效率高，解决了现有技术中存在的传送流程长、耗费时间、无法精准定位、单个转移装置无法对接多台加工工位、工作效率低下、设备结构复杂等问题。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域，尤其涉及一种多工位硅片转移系统。

背景技术

21世纪以来，全球能源消费急剧攀升，传统化石能源日益枯竭，能源问题和环境问题逐渐成为全球关注的两大重点问题。迫于可持续发展的压力，太阳能光伏产业成为可再生能源开发利用的重点。

晶硅太阳电池是目前技术最成熟、应用最广泛的太阳能光伏产品。在晶硅及其制品的生产过程中，需先将硅棒切割成硅片，由于硅片经过切割后边缘表面有棱角毛刺崩边甚至有裂缝或其它缺陷，边缘表面比较粗糙，因此为了增加硅切片边缘表面机械强度、减少颗粒污染，要将其边缘磨削呈圆弧状或梯形，该过程即为倒角，倒角前需使用一种硅片转移装置将待倒角的硅片放置到倒角设备上。

中国专利申请号为201510021848.7所公开的硅片分片装置及硅片卸载系统，包括传送带、翻片器、石英舟、分片装置，通过在堆叠设置的硅片组底部设置传送带，将硅片经传送带传送至翻片器处，经翻片器将硅片分成单片，并旋转转移至下一传送带继续传送至石英舟内进行加工，加工完成的硅片经传送带传送至分片装置处，通过上吸盘吸气吸附上方硅片、下吸盘吸气吸附下方硅片，上吸盘向上移动使硅片分离，此时下吸盘停止吸气，下方硅片得以继续由传送带传送至下一处理机构，从而实现单片硅片的转移。

然而上述技术方案中，采用多个传送带进行传送，传送流程长，耗费时间，且只能实现单片硅片传送至硅片加工机构处，无法进行精准定位，且无法满足一个转移装置配合多个硅片加工工位的要求，工作效率低下，设备结构复杂，使用成本较高，不利于工业化生产使用。

综上所述，上述技术方案存在传送流程长、耗费时间、无法精准定位、单个转移装置无法对接多台加工工位、工作效率低下、设备结构复杂等问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术的不足之处，提供一种多工位硅片转移系统，通过传送机构、旋转机构、升降机构及吸附机构的依次连接设置，由吸附机构将硅片吸取，由升降机构驱动吸附机构将硅片沿竖直方向提起，由旋转机构带动硅片做圆周转动，实现位置转移，由传送机构将硅片水平转移到各个工位上进行后续加工，整个过程自动化操作、设备结构紧凑、传送过程流畅快捷、一个转移机构配合多台加工工位、工作效率高，解决了现有技术中存在的传送流程长、耗费时间、无法精准定位、单个转移装置无法对接多台加工工位、工作效率低下、设备结构复杂等问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种多工位硅片转移系统，包括：

传送机构，所述传送机构为水平设置，其包括下盖板、滑动组件及水平驱动组件，所述滑动组件与所述水平驱动组件平行设置，所述水平驱动组件位于所述下盖板上端面的中线上，所述滑动组件沿所述水平驱动组件的长度方向对称设置于所述下盖板的两侧，所述下盖板由所述水平驱动组件驱动沿滑动组件的长度方向往复滑动；

旋转机构，所述旋转机构与所述下盖板的下端面固定连接，其与该下盖板同步滑动，且其包括旋转驱动组件及悬臂组件，所述旋转驱动组件竖直安装于所述下盖板上，所述悬臂组件安装于所述旋转驱动组件的旋转端部，其由该旋转驱动组件驱动旋转设置；