[实用新型]一种28寸油扩散泵有效

专利信息
申请号: 201821778371.2 申请日: 2018-10-31
公开(公告)号: CN209195832U 公开(公告)日: 2019-08-02
发明(设计)人: 苗润财;苗伟伟;苗润发;张震 申请(专利权)人: 上海繁枫真空科技有限公司
主分类号: F04F9/00 分类号: F04F9/00
代理公司: 上海互顺专利代理事务所(普通合伙) 31332 代理人: 余毅勤
地址: 201507 上海市金山区*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开了一种28寸油扩散泵,包括扩散泵主体、冷却水管、法兰、进气口、一级喷嘴、喷嘴座、二级喷嘴、泵芯、二级导流管、三级喷嘴、四级喷嘴、三级导流管、出气口、加热器、底座以及扩散器,扩散泵主体外部固定安装设置有冷却水管,扩散泵主体顶端固定安装设置有法兰,法兰内部贯穿安装设置有进气口,法兰底端安装设置有一级喷嘴,一级喷嘴底端固定安装设置有喷嘴座,喷嘴座底端固定连接设置有泵芯,泵芯底部安装设置有二级喷嘴。本实用新型针对客户的前级阀门的口径设计为28英寸,结合加热时间和温度对加热器进行设计,结合真空管路以及前级泵的组装要求,对泵的外形尺寸进行设计,可满足同类型玻璃屏幕的镀膜要求。
搜索关键词: 一级喷嘴 扩散泵 喷嘴座 泵芯 底端 进气口 加热器 本实用新型 二级喷嘴 冷却水管 油扩散泵 法兰 二级导流管 玻璃屏幕 镀膜要求 法兰内部 口径设计 前级阀门 三级导流 四级喷嘴 真空管路 主体顶端 主体外部 喷嘴 出气口 扩散器 前级泵 底座 加热 组装 贯穿 客户
【主权项】:
1.一种28寸油扩散泵,包括扩散泵主体(1)、冷却水管(2)、法兰(3)、进气口(4)、一级喷嘴(5)、喷嘴座(6)、二级喷嘴(7)、泵芯(8)、二级导流管(9)、三级喷嘴(10)、四级喷嘴(11)、三级导流管(12)、出气口(14)、加热器(16)、底座(17)以及扩散器(20),其特征在于,所述扩散泵主体(1)外部固定安装设置有冷却水管(2),所述扩散泵主体(1)顶端固定安装设置有法兰(3),所述法兰(3)内部贯穿安装设置有进气口(4),所述法兰(3)底端安装设置有一级喷嘴(5),所述一级喷嘴(5)底端固定安装设置有喷嘴座(6),所述喷嘴座(6)底端固定连接设置有泵芯(8),所述泵芯(8)底部安装设置有二级喷嘴(7),所述二级喷嘴(7)底端固定连接设置有二级导流管(9),所述二级导流管(9)底端固定连接设置有三级喷嘴(10),所述三级喷嘴(10)底端固定安装设置有三级导流管(12),所述三级导流管(12)底端固定安装设置有四级喷嘴(11),所述四级喷嘴(11)底端固定安装设置有加热器(16),所述加热器(16)底端固定安装设置有底座(17),所述底座(17)中部安装设置有油锅支杆(18),所述加热器(16)旁边安装设置有扩散器(20),所述扩散器(20)一端连接设置有出气口(14),所述扩散器(20)旁边安装设置有电控箱(23)。
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  • 一种扩散泵,包括泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统,所述蒸发系统悬空、绝热或隔热安装在泵体底部,蒸发系统采用即时加热或浮动即时加热的加热方式,对加热区内的泵油进行加热使其即时蒸发变成蒸气;喷射系统中蒸气导管的顶部是固定喷头或旋转喷头,在固定喷头的周边均匀布置的向斜下方喷射的一组喷嘴、蒸气从喷嘴喷出后形成旋转的漩涡状的气流团;旋转喷头的周围有一系列喷嘴,喷嘴喷出蒸气时产生的反作用力能够使旋转喷头高速旋转;泵芯或蒸气导管上或安装有加热装置,能够提高泵芯和蒸气的温度,增加喷射蒸气的速率和动能,并能实现扩散泵的快速启动。
  • 一种浮动加热式真空扩散泵-201710227103.5
  • 戴长虹 - 青岛理工大学
  • 2017-04-10 - 2018-10-23 - F04F9/00
  • 一种浮动加热式真空扩散泵,包括泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统,其蒸发系统采用浮动加热的加热方式,蒸发系统包括蒸发器、加热器和测温控温元件,蒸发器具有加热区和储油区,两者通过中间隔板分开并通过隔板上的油孔相连通,加热器设置在加热区内,对加热区内的泵油进行加热使其即时蒸发变成蒸气;加热器固定在中间隔板上,中间隔板能够漂浮在泵油中,使加热区在正常的泵油范围内保持恒定不变;加热器固定在中间隔板上,中间隔板能够漂浮在泵油中,使加热区在正常的泵油范围内保持恒定不变。
  • 一种快速启动的真空扩散泵-201710227104.X
  • 戴长虹 - 青岛理工大学
  • 2017-04-10 - 2018-10-23 - F04F9/00
  • 一种快速启动的真空扩散泵,包括泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统,其蒸发系统采用局部加热的加热方式,蒸发系统包括蒸发器、加热器和测温控温元件,蒸发器具有加热区和储油区,两者通过中间隔板分开并通过隔板上的油孔相连通,加热器设置在加热区内,对加热区内的泵油进行加热使其即时蒸发变成蒸气;喷射系统中的蒸气导管上或周围有加热装置,能够提高泵芯和蒸气的温度,增加喷射蒸气的速率和动能,并能实现扩散泵的快速启动。
  • 一种即时加热快速启动旋转喷射的扩散泵-201710227105.4
  • 戴长虹 - 青岛理工大学
  • 2017-04-10 - 2018-10-23 - F04F9/00
  • 一种即时加热快速启动旋转喷射的扩散泵,包括泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统,其蒸发系统采用即时加热的加热方式,蒸发系统包括蒸发器、加热器和测温控温元件,蒸发器具有加热区和储油区,两者通过中间隔板分开并通过隔板上的油孔相连通,加热器设置在加热区内,对加热区内的泵油进行加热使其即时蒸发变成蒸气;喷射系统中蒸气导管的顶部是旋转喷头,旋转喷头的周围有一系列喷嘴,喷嘴喷出蒸气时能够使旋转喷头高速旋转;蒸气导管上或周围有加热装置,能够提高泵芯和蒸气的温度,并能实现扩散泵的快速启动。
  • 一种浮动加热旋转喷射的扩散泵-201710227112.4
  • 戴长虹 - 青岛理工大学
  • 2017-04-10 - 2018-10-23 - F04F9/00
  • 一种浮动加热旋转喷射的扩散泵,包括泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统,其蒸发系统采用浮动加热的加热方式,蒸发系统包括蒸发器、加热器和测温控温元件,蒸发器具有加热区和储油区,两者通过中间隔板分开并通过隔板上的油孔相连通,加热器设置在加热区内,对加热区内的泵油进行加热使其即时蒸发变成蒸气;加热器固定在中间隔板上,中间隔板能够漂浮在泵油中;喷射系统中蒸气导管的顶部是旋转喷头,旋转喷头的周围有一系列喷嘴,喷嘴喷出蒸气时能够使旋转喷头高速旋转。
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