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- [实用新型]一种电子级材料纯化扩散泵-CN202321384365.X有效
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颜超;李娟
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湖北倍思电子材料有限公司
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2023-05-30
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2023-09-22
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F04F9/02
- 本实用新型提供一种电子级材料纯化扩散泵，涉及扩散泵技术领域，包括加热底座和扩散管道，加热底座顶部连接设有扩散管道，扩散管道顶端连接设有泵体，扩散管道内部靠近地面处设有主导流管，主导流管顶端依次连接设有三级扩散环、第二导流副管、二级扩散环、第一导流副管和一级扩散环，扩散管道内部设置管口直径之间减小的主导流管、第二导流副管和第一导流副管进行油蒸汽导流使用，并设置向内弧形弯折的以及扩散环和二级扩散环进行导流，使经过一级扩散环和二级扩散环流出的油蒸汽在接触二级扩散环外壁和三级扩散环外壁后发生折流，增加整个油蒸汽在扩散管道内部的停留时间，提高真空处理效率，从而提高整体的纯化效率。
- 一种电子材料纯化扩散
- [发明专利]一种40寸油扩散泵-CN202310747701.0在审
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高杰;王路;梁亚军;王帅峰
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蒙城繁枫真空科技有限公司
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2023-06-21
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2023-08-15
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F04F9/02
- 本发明涉及油扩散泵技术领域，具体公开了一种40寸油扩散泵，包括泵体、加热器、水冷挡油装置以及泵芯，所述泵体内设置有泵芯，加热器设置在泵体的底部，泵体的顶部设置有水冷挡油装置；所述泵体的外侧设置有冷却管，所述水冷挡油装置顶部设置有水冷挡油帽，泵体的顶部设置有进气口法兰；所述泵体一侧底部设置有排气口结构；所述泵芯由喷嘴帽、喷嘴座、导流管组成，喷嘴帽、喷嘴座、导流管三者配套设置，且设置有若干组；所述喷嘴帽安装在喷嘴座的上侧，且二者之间通过调整垫片形成缝隙，所述喷嘴座安装在导流管的顶部；本发明通过加热泵油，使油蒸汽分多级喷射喷嘴喷出，达到最佳抽气速率，实现大口径、大抽速、极限真空度高、节省能耗的效果。
- 一种40扩散
- [发明专利]一种带分流板的四级分馏式油扩散泵-CN201910781899.8在审
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潘燕萍;井苅晴美
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常州市乐萌压力容器有限公司
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2019-08-23
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2021-02-26
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F04F9/02
- 本发明公开了一种带分流板的四级分馏式油扩散泵，包括内置泵芯的泵体，泵体的底部设有油室，泵体的上端设有进气口，泵体的侧端底部设有喷射嘴，且喷射嘴外接有排气管，泵体的外周固定有冷却水管，油室中固定有支撑罩，支撑罩由支撑板和柱形管构成，支撑罩的内部设有加热管道以及位于其上方的分流板，分流板包括中心盲板、第一环形端板和第二环形端板，支撑罩的上侧固定有泵芯。本发明结构设计科学合理，在油室中增设有分流板，能够对馏分进行预导向，增大通过蒸馏能够提高的极限真空度；同时由于分流板的存在，能够将未达到沸点前挥发的馏分进行有效拦截阻挡，进而大幅降低返油现象，提高泵体的使用效果。
- 一种分流分馏扩散
- [实用新型]一种带分流板的四级分馏式油扩散泵-CN201921376852.5有效
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潘燕萍;井苅晴美
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常州市乐萌压力容器有限公司
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2019-08-23
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2020-04-14
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F04F9/02
- 本实用新型公开了一种带分流板的四级分馏式油扩散泵，包括内置泵芯的泵体，泵体的底部设有油室，泵体的上端设有进气口，泵体的侧端底部设有喷射嘴，且喷射嘴外接有排气管，泵体的外周固定有冷却水管，油室中固定有支撑罩，支撑罩由支撑板和柱形管构成，支撑罩的内部设有加热管道以及位于其上方的分流板，分流板包括中心盲板、第一环形端板和第二环形端板，支撑罩的上侧固定有泵芯。本实用新型结构设计科学合理，在油室中增设有分流板，能够对馏分进行预导向，增大通过蒸馏能够提高的极限真空度；同时由于分流板的存在，能够将未达到沸点前挥发的馏分进行有效拦截阻挡，进而大幅降低返油现象，提高泵体的使用效果。
- 一种分流分馏扩散
- [实用新型]电磁加热高真空油扩散泵-CN201520958648.X有效
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林森;林峰
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辽宁真龙真空设备制造有限公司
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2015-11-27
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2016-04-06
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F04F9/02
- 本实用新型涉及一种高真空油扩散泵，特别是涉及一种电磁加热高真空油扩散泵。电磁加热高真空油扩散泵，电磁加热器设置在泵体底部、泵体的排气口设有水冷挡油装置，泵体采用了直腔结构，泵体外设有水槽式冷却外套，泵芯组件垂直安装在泵体内的中心位置，泵芯组件结构是由内至外依次设置伞帽形一级喷嘴帽、伞帽形二级喷嘴帽、伞帽形三级喷嘴帽、三级导流管构成整体结构，各级伞帽喷嘴帽上均设有导流管，一级扩压导流管垂直焊接在三级导流管的内部中心位置，一级导流管的高度比二级导流管高，二级导流管的高度比三级导流管高。本实用新型具有加热速度快、冷却速度快效果好、返油率低、极限真空高、抽气速率高、耗电量低、达到极限真空时间短的特点。
- 电磁加热真空扩散
- [发明专利]电磁加热高真空油扩散泵-CN201510839534.8在审
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林森;林峰
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辽宁真龙真空设备制造有限公司
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2015-11-27
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2016-02-24
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F04F9/02
- 本发明涉及一种高真空油扩散泵，特别是涉及一种电磁加热高真空油扩散泵。电磁加热高真空油扩散泵，电磁加热器设置在泵体底部、泵体的排气口设有水冷挡油装置，泵体采用了直腔结构，泵体外设有水槽式冷却外套，泵芯组件垂直安装在泵体内的中心位置，泵芯组件结构是由内至外依次设置伞帽形一级喷嘴帽、伞帽形二级喷嘴帽、伞帽形三级喷嘴帽、三级导流管构成整体结构，各级伞帽喷嘴帽上均设有导流管，一级扩压导流管垂直焊接在三级导流管的内部中心位置，一级导流管的高度比二级导流管高，二级导流管的高度比三级导流管高。本发明具有加热速度快、冷却速度快效果好、返油率低、极限真空高、抽气速率高、耗电量低、达到极限真空时间短的特点。
- 电磁加热真空扩散
- [实用新型]一种高真空扩散泵装置-CN201520165338.2有效
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卢成;王伟;曹德
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成都国泰真空设备有限公司
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2015-03-24
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2015-11-18
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F04F9/02
- 本实用新型涉及电子工业真空获得技术领域，特指一种高真空扩散泵装置；包括温水冷阱1、直腔泵壳2、泵芯3、排气水冷阱4、内加热丝5、测量探头6、油位观察窗7、挡油帽8和回油管9，直腔泵壳2为圆柱状，直腔泵壳2的上端设置有温水冷阱1，温水冷阱1的中心部位设置有挡油帽8，挡油帽8的下端设置有泵芯3，泵芯3的下端设置有内加热丝5，泵芯3的下端设置有回油管9，直腔泵壳2下端的两侧分别设置有排气水冷阱4和油位观察窗7，内加热丝5下端的中心设置有测温探头，本实用新型蒸发效率高，能避有效免油蒸汽反流和加热元件的故障问题。
- 一种真空扩散装置
- [实用新型]内加热金属型高真空油扩散泵-CN201120014879.7有效
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林森;邵莉
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辽宁真龙真空设备制造有限公司
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2011-01-18
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2011-07-27
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F04F9/02
- 内加热金属型高真空油扩散泵，包括外壁有冷却水管的泵壳体，泵壳体内有泵芯，其特征在于挡油片组件(3)安置在连接机械泵的排气口前级管内，泵芯组件(2)直立安坐在钩板(25)槽内，挡油帽组件(1)由挡油帽的冷却水管将挡油帽悬持在泵芯上方，挡油帽的冷却水管固定在泵壳体上，伞形挡油帽下同心安置一级至三级喷嘴帽、一级至四级导流管，由通丝(19)竖向连接外缘固定；泵芯底部设置加热装置(5)，内置加热器的套管呈放射状排布，并浸在真空油内、套管口焊在泵壁外；安置在泵壳体外的控制箱(7)通过温控电路分别连接加热器和报警器，外壁冷却水管上安置水温传感器(8)，并通过温控电路与报警器相连；泵壳体下部设观察窗组件(6)。该泵结构优化，提高了技术性能，满足了用户的使用要求。
- 加热金属真空扩散
- [实用新型]五级金属直腔型高真空油扩散泵-CN200920008055.1有效
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王莉
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兰州真空设备有限责任公司
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2009-03-31
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2010-02-24
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F04F9/02
- 本实用新型涉及高真空油扩散泵，具体地说是一种五级金属直腔型高真空油扩散泵。它包括泵体，设置在泵体内泵芯、油室和喷射嘴，位于泵体外面、底部的加热器；泵体为直容腔；泵芯包括一级导流管及其一级喷嘴、二级导流管及其二级喷嘴、三级导流管及其三级喷嘴、四级导流管及其四级喷嘴，二级导流管、三级导流管和四级导流管与油室连接，一级导流管装在二级导流管的上面；二级喷嘴、三级喷嘴和四级喷嘴的间隙为固定间隙。它结构简单，制作容易，显著提高高真空油扩散泵的抽气速率、拓宽抽气范围，气密性高，焊接变形小，提高工作效率；能获得10-2～10-6Pa高真空和超高真空环境。广泛用于航空航天、原子能、真空冶金、热处理、镀膜、化工等领域。
- 金属直腔型高真空扩散
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