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[发明专利]应用于分子束外延设备的扩散泵控制系统及真空系统-CN202310665966.6在审
发明人：陈意桥;马栋梁;陆海涛 -专利权人：苏州焜原光电有限公司
申请日： 2023-06-07 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： F04F9/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种应用于分子束外延设备的扩散泵控制系统，包括扩散泵、插板阀、真空传感器和温度传感器，扩散泵抽气口与分子束外延设备的真空反应室连接，扩散泵具有前级真空管路，扩散泵通过前级真空管路连接机械泵；插板阀设置于真空反应室与扩散泵之间；真空传感器设置于扩散泵的前级真空管路上；温度传感器设置于扩散泵上；当真空传感器和/或温度传感器采集的信号超过或低于设定的扩散泵正常运行时各传感器的阈值时，触发插板阀关闭，以避免扩散泵的油被反抽进真空反应室中。本发明克服了现有技术中存在的介质油反抽到真空反应室而对分子束外延设备及外延材料造成致命性影响的缺陷。
应用于分子外延设备扩散控制系统真空系统

[实用新型]扩散泵节能控制系统-CN201520267687.5有效
发明人：陈发杰;陈显东 -专利权人：上海宏昊企业发展有限公司
申请日： 2015-04-28 - 公布日： 2015-10-28 - 主分类号： F04F9/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及机械技术领域。扩散泵节能控制系统，包括与真空镀膜机的下室联通的真空度控制装置，真空度控制装置设有至少两组，至少两组真空度控制装置与下室并联连接；每组真空度控制装置包括一与下室联通的扩散泵、一排气阀、一抽气阀，每个扩散泵均通过一个抽气阀与下室联通，每个扩散泵通过一个排气阀分别与一维持泵、一前级泵联通；扩散泵的下端部设有一加热器，扩散泵设有一中空腔体，加热器位于中空腔体的下方，扩散泵的内壁设有温度传感器，温度传感器连接一微型处理器系统，微型处理器系统连接加热器。本实用新型通过在扩散泵的内壁设有温度传感器，实时调整工作温度，减少了能耗。
扩散节能控制系统

[实用新型]具有加热控温功能的烧结炉扩散泵-CN201420615127.X有效
发明人：张书凯 -专利权人：山东依诺威强磁材料有限公司
申请日： 2014-10-23 - 公布日： 2015-03-18 - 主分类号： F04F9/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有加热控温功能的烧结炉扩散泵，包含有扩散泵本体，扩散泵本体下部设置有加热盘，所述加热盘上方中心部位设置有热电偶，所述热电偶连接温度控制器，温度控制器固定在炉体的操作面板上，通过温度控制器对加热盘电源进行控制，（温度超过设置上限时关闭加热电源，温度低于设置下限时打开加热电源）。使用本实用新型后既可以保证扩散泵正常工作，又能节约能源，降低生产成本。
具有加热功能烧结炉扩散

[发明专利]一种防爆油扩散泵真空系统及其防爆控制方法-CN201210324787.8有效
发明人：令晓明;范多旺;夏荣斌;范多进;李德文;杨树本 -专利权人：常州大成绿色镀膜科技有限公司;兰州交大国家绿色镀膜工程中心有限责任公司;兰州大成科技股份有限公司
申请日： 2012-09-05 - 公布日： 2012-12-19 - 主分类号： F04F9/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种防爆油扩散泵真空系统及其防爆控制方法，包括油扩散泵系统，油扩散泵系统具有油扩散泵，油扩散泵的抽气口与真空室的出气口通过管路连通，还包括控制系统，控制系统包括设置在油扩散泵的前级排气口管路上的压力检测装置、设置在油扩散泵内的实时检测油温的测温装置和测量真空室内压力的测压装置，控制系统设有临界压力Pq和防爆压力Pfb，控制系统通过采集压力检测装置、测温装置和测压装置测得的实时数据控制油扩散泵系统中各泵组和阀组的启闭。本发明通过控制系统实时监控油扩散泵的油温、前级压力和真空室压力，并与设定的临界压力和防爆压力进行比较，若检测到危险做出相应的处理，避免油扩散泵发生爆炸。
一种防爆扩散真空系统及其控制方法

[发明专利]用于控制蒸汽喷射真空泵中的功率的方法和装置-CN03809757.5无效
发明人：玛尔斯贝德·哈布兰尼安 -专利权人：瓦里安有限公司
申请日： 2003-04-04 - 公布日： 2005-08-03 - 主分类号： F04F9/08 文献下载
摘要：提供了用于控制提供给蒸汽喷射真空泵的功率的方法和装置。蒸汽喷射真空抽吸系统包括蒸汽喷射泵和功率控制器，所述蒸汽喷射泵具有入口端口、排气端口、射流组件和蒸发器(12)，所述蒸发器含有加热器(50)，所述功率控制器用于响应于至少一个控制参数，自动地控制提供给加热器的功率。可以响应于编程序列、处理室中的感应的压力、来自工艺控制系统的控制信号或者这些控制参数的组合，来控制功率。
用于控制蒸汽喷射真空泵中的功率方法装置

[实用新型]电子冷挡板-CN01247776.1无效
发明人：荣道发;敖锡芹;荣臻 -专利权人：荣道发
申请日： 2001-09-30 - 公布日： 2003-01-08 - 主分类号： F04F9/08 文献下载
摘要：电子冷挡板采用了半导体制冷器件来降低挡油板组件的温度达－5℃～－25℃，其阻挡油蒸汽返流的效果与蒸发式制冷挡板的效果相当，本实用新型外壳的形状有方形、圆形、半圆半方形等可供选用，内部结构也可根据需要进行各种组合。本实用新型成本低，无污染、安装使用，维护方便、使用寿命长、可靠性好。
电子挡板