[实用新型]全自动镀膜装置有效
| 申请号： | 201821760192.6 | 申请日： | 2018-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN209227047U | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 何小锐;郑健 | 申请（专利权）人： | 深圳市派恩新材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50;C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 王玮 |
| 地址： | 518117 广东省深圳市龙*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种全自动镀膜装置，包括真空镀膜室，真空镀膜室内设有坩埚和离子源。坩埚和离子源设于真空镀膜室的底端，真空镀膜室顶端设有运载机构和驱动机构，能自动运载待镀产品，待镀产品在坩埚的上方移动，使蒸发的蒸镀材料镀在待镀产品上。运载机构与横贯真空镀膜室顶端的导轨相连；进料口和出料口设有自动门，自动门与气缸相连；能自动进料和出料，实现镀膜过程的全自动化，提高生产速度，降低产品的生产工时，减少生产成本。进料口与出料口设有承料台，承料台设有运料机构，真空镀膜室与真空泵相连；全自动镀膜装置设有控制电脑。本实用新型结构简单，操作方便，适合在工业生产上使用。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜室 镀膜装置 坩埚 本实用新型 运载机构 承料台 出料口 进料口 离子源 自动门 镀膜过程 控制电脑 驱动机构 全自动化 上方移动 运料机构 真空镀膜 蒸镀材料 自动进料 真空泵 出料 导轨 底端 气缸 生产成本 横贯 运载 蒸发 室内 生产 | ||
【主权项】：
1.一种全自动镀膜装置，包括真空镀膜室，真空镀膜室内设有用于加热蒸镀材料的坩埚和用于为蒸发状态的蒸镀材料提供能量的离子源，其特征在于：所述坩埚和所述离子源设于所述真空镀膜室内的底端，所述真空镀膜室内顶端设有运载机构和驱动机构，所述运载机构与横贯真空镀膜室顶端的导轨相连；所述真空镀膜室在所述导轨的两端位置所在的相对两侧分别设有进料口和出料口，所述进料口和所述出料口设有自动门，所述自动门与气缸相连；所述进料口与所述出料口设有承料台，所述承料台设有运料机构；所述真空镀膜室与真空泵相连，所述真空泵用于对真空镀膜室抽气；所述全自动镀膜装置设有控制电脑，所述控制电脑与所述运载机构、所述驱动机构、所述气缸以及所述运料机构相连。
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