[实用新型]一种湿法蚀刻装置

摘要

本实用新型公开了一种湿法蚀刻装置，包括蚀刻槽和固定安装在蚀刻槽上端的夹持机械臂，所述蚀刻槽内壁的中部固定设有液位挡环，所述挡环下端的蚀刻槽内活动设有活塞，所述活塞两侧的蚀刻槽上均连通有连接管，所述连接管的进液端固定连通腐蚀液箱，且腐蚀液箱内设有加压泵，且连接管的出液端连通设有阀门，所述蚀刻槽的底端通过软管连通有气泵。本实用新型在对蚀刻材料湿法蚀刻时，通过传统的夹持机械臂将蚀刻材料固定在蚀刻槽内，然后通过一侧的加压泵将其中一种腐蚀液注入到蚀刻槽内，然后关闭该侧连接管上的阀门，通过气泵向蚀刻槽底端注入空气，从而将活塞向上抬升，将腐蚀液提升到蚀刻材料处，对其进行湿法蚀刻。

主权项

1.一种湿法蚀刻装置，包括蚀刻槽(1)和固定安装在蚀刻槽(1)上端的夹持机械臂(2)，其特征在于：所述蚀刻槽(1)内壁的中部固定设有液位挡环(101)，所述挡环(101)下端的蚀刻槽(1)内活动设有活塞(3)，所述活塞(3)两侧的蚀刻槽(1)上均连通有连接管(4)，所述连接管(4)的进液端固定连通腐蚀液箱(5)，且腐蚀液箱(5)内设有加压泵(501)，且连接管(4)的出液端连通设有阀门(401)，所述蚀刻槽(1)的底端通过软管(601)连通有气泵(6)。