[实用新型]一种用于蓝宝石晶体导模法生长的坩埚托装置

摘要

本实用新型公开了一种用于蓝宝石晶体导模法生长的坩埚托装置，包括钼坩埚，所述钼坩埚的下侧设置有隔板，所述隔板包括薄钨片和薄钽片，所述薄钨片设置在薄钽片的上侧，所述隔板的下侧设置有石墨托盘，所述隔板的下侧表面设置有定位卡环，所述定位卡环的内侧设置有定位柱，所述定位柱与定位卡环均与隔板为一体结构，所述石墨托盘的上侧表面开设有卡环槽，所述石墨托盘的上侧表面中部开设有放置卡槽；本实用新型的坩埚托结构不会出现传统使用氧化锆坩埚托遇到的与石墨反应问题，薄钨片与薄钽片很好的将石墨托盘与钼坩埚进行了分割，从而避免了石墨与钼的反应，因此，本实用新型的坩埚托结构的使用寿命几乎是无限长。

主权项

1.一种用于蓝宝石晶体导模法生长的坩埚托装置，包括钼坩埚(1)，其特征在于：所述钼坩埚(1)的下侧设置有隔板(2)，所述隔板(2)包括薄钨片(7)和薄钽片(8)，所述薄钨片(7)设置在薄钽片(8)的上侧，所述隔板(2)的下侧设置有石墨托盘(3)，所述隔板(2)的下侧表面设置有定位卡环(9)，所述定位卡环(9)的内侧设置有定位柱(10)，所述定位柱(10)与定位卡环(9)均与隔板(2)为一体结构，所述石墨托盘(3)的上侧表面开设有卡环槽(11)，所述石墨托盘(3)的上侧表面中部开设有放置卡槽(12)，且卡环槽(11)与放置卡槽(12)的位置分别与定位卡环(9)和定位柱(10)的位置相对应。