[实用新型]研磨头组件和化学机械研磨设备有效
| 申请号： | 201821678780.5 | 申请日： | 2018-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN208841173U | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 陆从喜;辛君;吴龙江;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30;B24B37/005;B24B49/00 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;董琳 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 该实用新型涉及一种研磨头组件和化学机械研磨设备。所述研磨头组件包括：研磨头，包括具有一开口的腔体和卡盘板，卡盘板设置于所述腔体开口处，用于固定晶圆；压力控制单元，设置于腔体内，包括：压力腔和密封件，所述密封件第一端连接所述卡盘板表面，第二端隔离所述压力腔与所述腔体，当所述卡盘板固定有晶圆时，所述压力腔内的压力保持恒定，当晶圆从研磨头中滑出后，卡盘板连同所述密封件位置发生移动，使得压力腔内压力发生变化；压力管道，用于连通所述压力腔与压力供应端；压力传感器，用于连接所述压力管道，用于检测所述压力腔内的压强。上述研磨头组件，能够对晶圆滑出所述研磨头的情况进行检测，提高对晶圆进行研磨加工时的产率。 | ||
| 搜索关键词： | 卡盘板 压力腔 研磨头组件 晶圆 密封件 研磨头 化学机械研磨设备 压力管道 腔体 压力控制单元 压力腔内压力 恒定 压强 腔体开口处 压力传感器 圆滑 发生移动 压力供应 研磨加工 第一端 检测 产率 滑出 连通 开口 体内 隔离 | ||
【主权项】：
1.一种研磨头组件，其特征在于，包括：研磨头，包括具有一开口的腔体和卡盘板，所述卡盘板设置于所述腔体开口处，所述卡盘板的正面用于固定晶圆；压力控制单元，设置于所述腔体内，包括：压力腔和密封件，所述密封件第一端连接所述卡盘板背面，第二端隔离所述压力腔与所述腔体，当所述卡盘板固定有晶圆时，所述压力腔内的压力保持恒定，当晶圆从研磨头中滑出后，卡盘板连同所述密封件位置发生移动，使得所述压力腔内压强发生变化；压力管道，用于连通所述压力腔与压力供应端；压力传感器，用于连接所述压力管道，用于检测所述压力腔内的压强。
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