[实用新型]研磨头组件和化学机械研磨设备

权利要求书

1.一种研磨头组件，其特征在于，包括：

研磨头，包括具有一开口的腔体和卡盘板，所述卡盘板设置于所述腔体开口处，所述卡盘板的正面用于固定晶圆；

压力控制单元，设置于所述腔体内，包括：压力腔和密封件，所述密封件第一端连接所述卡盘板背面，第二端隔离所述压力腔与所述腔体，当所述卡盘板固定有晶圆时，所述压力腔内的压力保持恒定，当晶圆从研磨头中滑出后，卡盘板连同所述密封件位置发生移动，使得所述压力腔内压强发生变化；

压力管道，用于连通所述压力腔与压力供应端；

压力传感器，用于连接所述压力管道，用于检测所述压力腔内的压强。

2.根据权利要求1所述的研磨头组件，其特征在于，还包括泄压腔，与所述压力腔连通，所述密封件的第二端隔离所述泄压腔与所述腔体，且当所述卡盘板固定有晶圆时，所述密封件隔离所述泄压腔与所述压力腔，当晶圆从研磨头中滑出后，卡盘板连同所述密封件位置发生移动，所述泄压腔与压力腔连通，压力腔内气体通过所述泄压腔泄出使得压力腔内压强发生变化。

3.根据权利要求2所述的研磨头组件，其特征在于，还包括泄压管道，连通所述泄压腔与大气环境。

4.根据权利要求2所述的研磨头组件，其特征在于，所述密封件包括顶针，所述顶针第一端连接至所述卡盘板背面，第二端穿过所述泄压腔，伸入所述压力腔内，且所述第二端具有第一密封层和第二密封层，所述第一密封层用于隔离所述泄压腔和所述腔体，所述第二密封层用于在所述卡盘板固定有晶圆时隔离所述压力腔和泄压腔。

5.根据权利要求4所述的研磨头组件，其特征在于，所述密封件还包括一弹簧，设置于所述顶针的第二端与所述压力腔的腔体壁之间，且所述弹簧的弹力方向与所述密封件的可运动方向相一致。

6.根据权利要求4所述的研磨头组件，其特征在于，所述泄压腔与所述腔体之间设置有滑移部，所述第一密封层卡设于所述滑移部中，将所述压力腔和腔体隔离；所述第一密封层可以在所述滑移部中移动，且移动过程中保持所述泄压腔和腔体隔离。

7.根据权利要求1所述的研磨头组件，其特征在于，所述压力管道上设置有压力调节器，用于调整所述压力腔内的压强。

8.根据权利要求1所述的研磨头组件，其特征在于，所述压力管道上还设置有一阀门，用于控制所述压力管道的通断。

9.一种化学机械研磨设备，其特征在于，包括：如权利要求1至8中任一项所述的研磨头组件。