[实用新型]半导体晶片清洗装置

摘要

本实用新型提供了一种半导体晶片清洗装置，包括箱体、两个摇臂和多个叶片，四个清洗篮、两个摇臂和多个叶片均设置在箱体内部，箱体上端分别设置有两条侧边角钢和两条中心角钢，四个清洗篮上端均通过侧边角钢和中心角钢并列挂置在箱体内，清洗篮内部可拆卸设置有多条分隔绳，两个摇臂并列间隔设置在箱体内清洗篮下部，摇臂设置有多层连接杆，每个连接杆上连接有一个叶片。本实用新型箱体内部设置四条角钢可以挂置多个清洗篮，每个清洗篮设置多个漏液孔且内部均用分隔绳均匀分隔，可以放置多片晶片，单次清洗量较大；箱体下部设置两条摇臂，每条摇臂设置多个叶片，摇动摇臂同时搅动箱体内的清洗液，利用液体自身撞击力冲击清洗晶片，清洗彻底。

主权项

1.一种半导体晶片清洗装置，包括四个清洗篮，其特征在于：还包括箱体、两个摇臂和若干个叶片，所述的箱体是长方形薄壁箱体，所述的四个清洗篮、两个摇臂和若干个叶片均设置在箱体内部，所述的箱体上端长度方向分别设置有两条侧边角钢和两条中心角钢，四条角钢互相平行，所述的两条侧边角钢分别紧贴箱体两侧内壁且开口朝外，所述的两条中心角钢位于箱体中心且背端紧贴开口朝外，所述的四个清洗篮上端均通过侧边角钢和中心角钢并列挂置在箱体内，所述的清洗篮是倒置的四棱台结构，且四壁及底部均均匀设置有若干个漏液孔，清洗篮内部可拆卸设置有多条分隔绳，所述的分隔绳穿过漏液孔将清洗篮内部均匀分隔，所述的两个摇臂的两端均通过轴承贯穿且间隔设置在箱体内清洗篮下部，两个摇臂并列间隔设置，每个摇臂均是中空杆状结构且外壁上设置有多层环状向外伸出的连接杆，所述的每个连接杆上分别连接有一个叶片，所述的摇臂一侧伸出箱体外设置有转轮。