[实用新型]机械手及芯片测试系统有效
| 申请号： | 201821629828.3 | 申请日： | 2018-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN209167331U | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 陆玉斌 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N35/00 | 分类号： | G01N35/00 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 袁礼君;阚梓瑄 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种机械手、芯片测试系统，涉及半导体生产技术领域，所述芯片测试系统包括：测试底座，用于测试芯片；传感器，设置于所述测试底座的上方，用于探测所述测试底座与所述芯片的位置关系；机械手，位于所述测试底座的上方，用于将所述芯片放置和移离于所述测试底座，且所述机械手不位于所述传感器的探测范围内；报警装置，所述报警装置连接所述传感器，并根据传感器探测的所述芯片与所述测试底座的位置关系进行相应的报警处理。本实用新型通过在测试底座的上方设置传感器，可以在芯片测试过程中检测芯片与测试底座的位置关系，降低测试过程中发生的质量风险和良率损失。 | ||
| 搜索关键词： | 测试底座 机械手 传感器 芯片测试系统 本实用新型 报警装置 探测 半导体生产技术 芯片测试过程 芯片 传感器探测 报警处理 测试过程 测试芯片 检测芯片 芯片放置 良率 | ||
【主权项】：
1.一种芯片测试系统，其特征在于，包括：测试底座，用于测试芯片；传感器，设置于所述测试底座的上方，用于探测所述测试底座与所述芯片的位置关系；机械手，位于所述测试底座的上方，用于将所述芯片放置和移离于所述测试底座，且所述机械手不位于所述传感器的探测范围内；报警装置，所述报警装置连接所述传感器，并根据传感器探测的所述芯片与所述测试底座的位置关系进行相应的报警处理。
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