[实用新型]一种背封炉氮气罩固定工具有效
申请号: | 201821468583.0 | 申请日: | 2018-09-10 |
公开(公告)号: | CN209178476U | 公开(公告)日: | 2019-07-30 |
发明(设计)人: | 张天鹏;张娟娟 | 申请(专利权)人: | 麦斯克电子材料有限公司 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455;C23C16/40 |
代理公司: | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人: | 逯雪峰 |
地址: | 471000 河南省洛阳*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 一种背封炉氮气罩固定工具,背封炉上设有喷头和氮气罩,氮气罩呈筒状,且一端沿着筒体设有螺孔,螺钉穿过螺孔将氮气罩固定在喷头上,氮气罩的另一端设有氮气管道安装孔,固定工具设置在氮气管道安装孔内;固定工具包括喇叭状柱体,喇叭状柱体的圆柱段与氮气管道安装孔连接,喇叭状柱体的喇叭段设置在氮气管道安装孔外,喇叭状柱体的中心设有两个通孔,两根氮气管道分别穿过两个通孔伸入氮气罩内;本实用新型可以牢固的将氮气罩固定,不会产生晃动,大大提高了工艺的稳定性和产品质量,并且耐高温不易损坏,容易拆卸。 | ||
搜索关键词: | 氮气罩 氮气管道 固定工具 安装孔 喇叭状 柱体 背封 通孔 螺钉穿过螺孔 喷头 本实用新型 喇叭段 耐高温 圆柱段 螺孔 伸入 筒体 筒状 拆卸 晃动 穿过 | ||
【主权项】:
1.一种背封炉氮气罩固定工具,背封炉上设有喷头和氮气罩,其特征在于,所述氮气罩呈筒状,且一端沿着筒体设有螺孔,螺钉穿过所述螺孔将所述氮气罩固定在所述喷头上,所述氮气罩的另一端设有氮气管道安装孔,固定工具设置在所述氮气管道安装孔内;所述固定工具包括喇叭状柱体,所述喇叭状柱体的圆柱段与所述氮气管道安装孔连接,所述喇叭状柱体的喇叭段设置在所述氮气管道安装孔外,所述喇叭状柱体的中心设有两个通孔,两根氮气管道分别穿过两个所述通孔伸入所述氮气罩内。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的