[实用新型]一种背封炉氮气罩固定工具

说明书

一种背封炉氮气罩固定工具，背封炉上设有喷头和氮气罩，氮气罩呈筒状，且一端沿着筒体设有螺孔，螺钉穿过螺孔将氮气罩固定在喷头上，氮气罩的另一端设有氮气管道安装孔，固定工具设置在氮气管道安装孔内；固定工具包括喇叭状柱体，喇叭状柱体的圆柱段与氮气管道安装孔连接，喇叭状柱体的喇叭段设置在氮气管道安装孔外，喇叭状柱体的中心设有两个通孔，两根氮气管道分别穿过两个通孔伸入氮气罩内；本实用新型可以牢固的将氮气罩固定，不会产生晃动，大大提高了工艺的稳定性和产品质量，并且耐高温不易损坏，容易拆卸。

技术领域

本实用新型涉及半导体材料生产技术领域，具体的说是一种背封炉氮气罩固定工具。

背景技术

半导体硅抛光片生产过程中有一道重要的工艺就是背封工艺，一种重要的背封工艺就是采用常压化学气象淀积（APCVD）原理在硅片背面生长一层二氧化硅薄膜，执行该背封工艺主流设备有一种是常压式背封炉即APCVD背封炉，工作原理如下：将硅片放到履带上，匀速通过喷头下方，喷头喷出硅烷与氧气在硅片表面发生反应，并通过氮气使之与大气进行隔离，适当的气体配合适当的温度在常压环境下进行反应，在硅片背面生成一层二氧化硅薄膜。在生产过程中为保证工艺质量，要通过氮气罩，均匀地通入氮气，将易燃易爆的硅烷气体与大气进行隔离，并将反应的残余气体通过排风带走，所以一定要将氮气罩固定牢固。现有结构中氮气罩下端往往通过两个螺丝固定在喷头上，上端伸出两根氮气管道用以连接氮气气源，如果不加以堵塞固定，氮气管道容易活动，导致气流不稳影响工艺质量。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决上述技术问题的不足，本实用新型提出一种背封炉氮气罩固定工具，可以牢固的将氮气罩固定，不会产生晃动，大大提高了工艺的稳定性和产品质量，并且耐高温不易损坏，容易拆卸。

本实用新型为解决上述技术问题的不足而采用的技术方案是：一种背封炉氮气罩固定工具，背封炉上设有喷头和氮气罩，所述氮气罩呈筒状，且一端沿着筒体设有螺孔，螺钉穿过所述螺孔将所述氮气罩固定在所述喷头上，所述氮气罩的另一端设有氮气管道安装孔，固定工具设置在所述氮气管道安装孔内；所述固定工具包括喇叭状柱体，所述喇叭状柱体的圆柱段与所述氮气管道安装孔连接，所述喇叭状柱体的喇叭段设置在所述氮气管道安装孔外，所述喇叭状柱体的中心设有两个通孔，两根氮气管道分别穿过两个所述通孔伸入所述氮气罩内。

进一步的，所述氮气管道安装孔内设有内螺纹，所述喇叭状柱体的圆柱段外表面设有外螺纹，所述圆柱段与所述氮气管道安装孔通过所述内螺纹和外螺纹固定连接。

进一步的，所述圆柱段的直径小于所述氮气管道安装孔，所述氮气管道安装孔和所述圆柱段之间设有半环状插片。

进一步的，所述半环状插片包括半环状膨胀垫片和按压板，所述半环状膨胀垫片插在所述氮气管道安装孔和所述圆柱段之间，所述按压板设置在所述氮气管道安装孔外，所述半环状膨胀垫片的材质为遇水膨胀橡胶。

进一步的，所述半环状膨胀垫片的厚度小于所述氮气管道安装孔的孔径与所述圆柱段的外径差，膨胀后所述半环状膨胀垫片的厚度不小于所述氮气管道安装孔的孔径与所述圆柱段的外径差。

本实用新型的有益效果是：

（1）本实用新型提供了一种背封炉氮气罩固定工具，包括一个喇叭状柱体，该喇叭状柱体分为圆柱段和喇叭段，其中圆柱段直径略小于氮气管道安装孔的直径，可将其塞进氮气管道安装孔内，喇叭段呈发散型，直径大于氮气管道安装孔的直径，不会使该固定工具掉进氮气管道安装孔内；现有结构中，往往直接将氮气管道放入氮气管道安装孔内，常会出现固定不牢靠，氮气管道来回晃动的现象，本实用新型中在喇叭状柱体的中心设有两个通孔，工作时将两根氮气管道分别穿进该通孔内，再将喇叭状柱体塞进氮气管道安装孔内，这样可以保证氮气管道牢固地固定，不会产生晃动，避免因气流不稳影响工艺质量；