[实用新型]一种垂直伞形高真空插板阀

摘要

本实用新型公开了一种垂直伞形高真空插板阀，包括阀体真空腔，阀体真空腔的下端设置有阀体安装门，阀体真空腔的内侧设置有阀体导杆，阀体导杆的两端分别通过导杆上安装座和导杆下安装座固定在阀体真空腔的内壁上，阀体导杆上安装有支撑块，支撑块通过联轴器与插板阀气缸连接，插板阀气缸通过气缸轴密封连接在气缸安装门上。本实用新型垂直伞形高真空插板阀，有效的解决了大跨度大高度的基片装载架或者托盘的真空阀门通过性，对工件箱的高度需要可达到1.5米的通过性，优化设计后可以达到高温退火连续至需要的1100摄氏度，具有良好的高真空隔离有效性和稳定性，可实现电气的全自动化控制，减少了人员的参与状态，提高了产品的成品率。

主权项

1.一种垂直伞形高真空插板阀，包括阀体真空腔(1)，其特征在于：所述阀体真空腔(1)的下端设置有阀体安装门(2)，所述阀体真空腔(1)的内侧设置有阀体导杆(4)，所述阀体导杆(4)的两端分别通过导杆上安装座(20)和导杆下安装座(16)固定在阀体真空腔(1)的内壁上，所述阀体导杆(4)上安装有支撑块(17)，所述支撑块(17)通过联轴器与插板阀气缸(7)连接，所述插板阀气缸(7)通过气缸轴密封(5)连接在气缸安装门(3)上，所述气缸安装门(3)上通过冷却水进出轴密封(8)连接有冷却水进出管(9)，所述冷却水进出管(9)通过冷却水进出分水器(6)与外部进出水法兰连接，所述冷却水进出管(9)远离冷却水进出分水器(6)的一端连接有冷却水进出分水头(10)，所述支撑块(17)的一侧设置有阀板导向轮(14)，所述阀板导向轮(14)的下方设置有阀板导向座(15)，所述阀板导向轮(14)的一侧设置有伞形撑杆(11)，所述伞形撑杆(11)安装在导向座(12)上，所述伞形撑杆(11)的一侧设置有支撑板(18)，所述支撑板(18)的一侧设置有限位块(13)，所述伞形撑杆(11)的另一侧设置有密封板(19)。