[实用新型]一种垂直伞形高真空插板阀

说明书

本实用新型公开了一种垂直伞形高真空插板阀，包括阀体真空腔，阀体真空腔的下端设置有阀体安装门，阀体真空腔的内侧设置有阀体导杆，阀体导杆的两端分别通过导杆上安装座和导杆下安装座固定在阀体真空腔的内壁上，阀体导杆上安装有支撑块，支撑块通过联轴器与插板阀气缸连接，插板阀气缸通过气缸轴密封连接在气缸安装门上。本实用新型垂直伞形高真空插板阀，有效的解决了大跨度大高度的基片装载架或者托盘的真空阀门通过性，对工件箱的高度需要可达到1.5米的通过性，优化设计后可以达到高温退火连续至需要的1100摄氏度，具有良好的高真空隔离有效性和稳定性，可实现电气的全自动化控制，减少了人员的参与状态，提高了产品的成品率。

技术领域

本实用新型涉及高真空插板阀技术领域，具体为一种垂直伞形高真空插板阀。

背景技术

大型的高温高真空插板阀一直都是大型真空连续腔体真空隔离的难点和重点所在。目前连续装饰镀膜、连续工具镀膜、高温连续真空处理炉和光学镀膜行业广泛存在不能有效隔离的问题。对于这样一个广泛的应用领域，隔离主要存在以下问题：

1、阀板跨度大，在玻璃和装饰镀膜领域，装载盘(或者装载架)跨度已经需要2-4米跨度，对插板阀的设计提出了很高的要求；

2、阀板的高度大，在装饰镀膜和高温退火连续炉领域，由于产能的要求，对工件箱(或装载架)高度需要达到1.5米的通过性；

3、工作环境温度高，在工具镀膜和高温退火连续炉领域需要炉体的温度到达300摄氏度，高温退火连续炉甚至需要到1100摄氏度；

4、节拍块，由于工业化的生产，需要快节拍生产，一般连续运行节拍最快在60-90秒。

5、高真空隔离有效性和稳定性，插板阀要进行空气与真空隔离、真空压差隔离、真空工艺气氛隔离和温差隔离，对不同工艺需要进行不同的工艺设计。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种垂直伞形高真空插板阀，有效的解决了大跨度大高度的基片装载架或者托盘的真空阀门通过性，对工件箱的高度需要可达到1.5米的通过性，允许的隔离温度可到达300摄氏度，优化设计后可以达到高温退火连续至需要的1100摄氏度，具有良好的高真空隔离有效性和稳定性，插板阀可进行空气与真空隔离、真空压差隔离、真空工艺气氛隔离和温差隔离，对不同工艺需要可进行不同的工艺优化设计，经过调校后，机械节拍达到了60-90秒，可实现电气的全自动化控制，可以和全自动化生产线配合使用，减少了人员的参与状态，提高了产品的成品率，可以解决现有技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种垂直伞形高真空插板阀，包括阀体真空腔，所述阀体真空腔的下端设置有阀体安装门，所述阀体真空腔的内侧设置有阀体导杆，所述阀体导杆的两端分别通过导杆上安装座和导杆下安装座固定在阀体真空腔的内壁上，所述阀体导杆上安装有支撑块，所述支撑块通过联轴器与插板阀气缸连接，所述插板阀气缸通过气缸轴密封连接在气缸安装门上，所述气缸安装门上通过冷却水进出轴密封连接有冷却水进出管，所述冷却水进出管通过冷却水进出分水器与外部进出水法兰连接，所述冷却水进出管远离冷却水进出分水器的一端连接有冷却水进出分水头，所述支撑块的一侧设置有阀板导向轮，所述阀板导向轮的下方设置有阀板导向座，所述阀板导向轮的一侧设置有伞形撑杆，所述伞形撑杆安装在导向座上，所述伞形撑杆的一侧设置有支撑板，所述支撑板的一侧设置有限位块，所述伞形撑杆的另一侧设置有密封板。

优选的，所述支撑板和密封板的内侧面分别焊接有支撑板冷却水道和密封板冷却水道，所述支撑板冷却水道和密封板冷却水道均通过软管与冷却水进出分水头密封连接。

优选的，所述支撑块通过插板阀气缸在阀体导杆上运动。

优选的，所述支撑板和密封板通过伞形撑杆撑开。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：